Podsumowanie: odparowanie łuku PVD w połączeniu z technologią rozpylania MF pozwala uzyskać funkcjonalne i estetyczne powłoki wysokiej jakości na powierzchni produktów.
Dlaczego MF Sputtering?
W porównaniu z napylaniem DC i RF napylanie średniej częstotliwości stało się główną techniką napylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłok, w szczególności do nakładania powłok dielektrycznych i nieprzewodzących powłok foliowych na powierzchniach takich jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wielowarstwowe , folia z materiału kompozytowego itp.
Zastępuje rozpylanie fal radiowych, ponieważ działa z częstotliwością kHz zamiast MHz, co zapewnia znacznie większą szybkość osadzania, a także może uniknąć zatrucia docelowego podczas osadzania złożonego cienkiego filmu, takiego jak DC.
Cele rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami. Stosuje się dwie katody z prądem przemiennym przełączanym w obie strony, który czyści powierzchnię docelową przy każdym odwróceniu, aby zmniejszyć nagromadzenie ładunku na dielektrykach, co prowadzi do wyładowań łukowych, które mogą wyrzucać kropelki do plazmy i zapobiegać jednorodnemu wzrostowi cienkich warstw --- co nazywamy zatruciem docelowym.
Dzięki systemowi rozpylania MF możemy uzyskać kolor grafitowy, dane LAB: (L: 30 ~ 35). A: -0,04, B: 08
Słowa kluczowe: elektroniczna powłoka dekoracyjna PVD, dekoracja PVD ze stali nierdzewnej,
Powłoka PVD o wysokim połysku, czarna powłoka na palec serdeczny, powłoka DLC do instrumentów medycznych
Odporne na korozję i zużycie folie PVD, wysokopróżniowy metalizator.
Firma Royal Technology opracowała 3 znormalizowane maszyny o różnej wydajności w celu zaspokojenia potrzeb i zastosowań naszych klientów .
| Specyfikacja techniczna maszyny do powlekania PVD ze stali nierdzewnej | |||
| Model | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1612-SPMF |
| Efektywny rozmiar komory | Φ1000 x wys. 800 mm | Φ1250 x H1250 mm | Φ1600 x H1200 mm |
| Źródła osadzania | Łuk cylindra (sterowany łuk kołowy dla opcji) + katoda rozpylania MF + Liniowe źródło jonów | ||
System pompowania próżniowego (pompy Leybold + pompa molekularna Turbo) | SV300B - 1 zestaw (300m³ / godz.) | SV300B - 1 zestaw (300m³ / godz.) | SV300B - 2 zestawy (300m³ / godz.) |
WAU1001-1set (1000 m3 / godz.) | WAU1001-1set (1000 m3 / godz.) | WAU2001-1set (1000 m3 / godz.) | |
| D60T- 1 zestaw (60m³ / godz.) | D60T- 1 zestaw (60m³ / godz.) | D60T- 1 zestaw (60m³ / godz.) | |
Pompy molekularne Turbo: 2 zestawy (3500L / S) | Pompy molekularne Turbo: 2 zestawy (3500L / S) | Pompy molekularne Turbo: 3 zestawy (3500L / S) | |
| Zasilanie rozpylania | 1 * 24 kW (MF) | 2 * 36 kW (MF) | 3 * 36 kW (MF) |
| Zasilacz łukowy | 6 * 5 kW | 7 * 5 kW | 8 * 5 kW |
| Zasilacz polaryzacyjny | 1 * 24 kW | 1 * 36 kW | 1 * 36 kW |
| Pręty planetarne | 6/8 | 12/16 | 20 |
| Grzejniki | 6 * 2,5 kW | 8 * 2,5 kW | 9 * 2,5 kW |
| Najwyższa próżnia | 9,0 * 10-4Pa (pusty, czysty, temperatura pokojowa) | 9,0 * 10-4Pa (pusty, czysty, temperatura pokojowa) | 9,0 * 10-4Pa (pusty, czysty, temperatura pokojowa) |
| Czas cyklu (zależy od pompy) | 40 '~ 50' zależy od materiału podłoża i receptur powłok | ||
| Wymagania dotyczące mocy roboczej | 3 fazy 4 linie, AC380V, 50 Hz, 35 kW | 3 fazy 4 linie, AC380V, 50 Hz, 120 kW | 3 fazy 4 linie, AC380V, 50 Hz, 150 kW |
| Woda chłodząca | TAK, przemysłowy agregat wody lodowej | ||
| Gaz procesowy (99,99%) | 4 sposoby | 4 sposoby | 4 sposoby |
| Powierzchnia postojowa (mm) | 2000 * 2000 * 2300 | 4000 * 4500 * 3200 | 5500 * 5000 * 3600 |
| Całkowita waga (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
| Całkowite zużycie energii (w przybliżeniu) | 50 kW | 110 kW | 170 kW |
| Rzeczywiste zużycie energii (w przybliżeniu) | 30 kW | 60 kW | 80 kW |
Powyżej parametrów technicznych jedynie w celach informacyjnych Royal Technology zastrzega sobie prawo do ostatecznej produkcji w oparciu o określone zastosowania. Zapewniamy nie tylko maszynę do powlekania, ale kompleksowe rozwiązania w zakresie powlekania, dostępna jest usługa „pod klucz”.
Próbki powłoki:
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
