Aplikacje:
Maszyna RTSP1213 jest systemem rozpylania okresowego, może osadzać różne twarde powłoki, powłoki miękkie, powłoki złożone i stałe powłoki smarujące na podłożach metalowych i niemetalicznych. Stosowany w branżach pojazdów napędzanych wodorem na ogniwa paliwowe, produktach fotonicznych, lotnictwie i innych nowych branżach energetycznych.
Nieruchomości:
Aby poprawić przewodnictwo powierzchni;
Wysoka odporność na korozję;
Wysoka odporność na zużycie;
Wysoka twardość
Film kompozycji hydrofobowej i inne filmy funkcjonalne
Dostępne dla powłok złożonych: filmów metalicznych i niemetalicznych.
Zakres grubości folii od 100 nm do 12 μm, tolerancja grubości ± 5%
Silna przyczepność.
Utwardzanie powierzchni części o niskiej temperaturze.
Rodzaj:
Orientacja pionowa, struktura wielościanu, 2-drzwiowy (przód i tył)
Cechy:
Specyfikacja techniczna
1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 8,0 * 10 -5 Pa;
3. Czas pompowania: od atm do 1,0 × 10-3 Pa ≤ 15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło osadzania: zrównoważone / niezrównoważone katody rozpylania
5. Model operacyjny: pełny automatycznie / półautomatycznie / ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do maks. 450 ℃,
7. Czyszczenie plazmy i osadzanie wspomagające plazmę: Anodowe źródło jonów liniowych
8. Magnetyczny zamknięty - złożony w pętli. (Niewyważenie / katody równowagi)
9. Bias Zasilacz do wyładowania jarzeniowego.
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 1200 mm
Wysokość wewnętrzna: 1300 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z pomalowaną powierzchnią wykończeniową.
Podwozie komorowe SS41 stal miękka z malowaną powłoką wykończeniową.
1.3 Tarcza rozpylająca: SUS304
1.4 Widok okna: na drzwiach komory - 4 zestawy (2 na każde drzwi)
1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: materiał SUS304
2. Układ pompowania próżniowego :
Obrotowa łopatkowa pompa olejowa + pompa Rootsa + pompa trzymająca (Leybold)
3. System pompowania w wysokiej próżni :
Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym (Leybold)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi - PLC + ekran dotykowy
4.1 Obwód główny: Wyłącznik bezpiecznikowy bez bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T szeregowo
4.2 Zasilanie rozpylające + zasilacz źródła jonów + zasilacz polaryzacji (Advanced Energy)
4.3 System kontroli osadzania rozpylania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczna ewakuacja, automatyczne powlekanie
4.5 Układ pomiarowy
Ciśnienie podciśnienia: Manometr: Pirani + Penning + Manometr próżniowy pełnego zakresu - marka europejska
Miernik temperatury: termopara
MFC: Kontroler przepływu masowego (4 sposoby), tryb wyświetlania cyfrowego - marka europejska
4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 System osadzania
5.1 Źródło osadzania: Katody napylające, źródło jonów - marka europejska
5.2 Materiał do osadzania: Cel węglowy
6. Podsystem
6.1 Układ sterowania zaworem sprężonym powietrzem
6.2 System wody chłodzącej: Rura przepływowa i system zaworów przełączających
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8 kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 75 kVA, średni pobór mocy: 40 kW
Obszar instalacji: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200 mm
Wydech: Odpowietrzenie dla pomp mechanicznych
Dlaczego my?
Zaawansowane maszyny produkcyjne (frezowanie, spawanie, cięcie, próba szczelności podciśnieniowej) w połączeniu ze znormalizowanymi procedurami produkcyjnymi i ścisłymi testami umożliwiają firmie Royal Technology wytwarzanie wysokiej jakości, niezawodnych i tanich systemów powłokowych.
Jakość, obsługa i terminowość dostaw to podstawowe zasady działalności Royal Technology. Strategia otwartego outsourcingu prostych komponentów do profesjonalnych producentów pozwala nam skupić uwagę na kluczowych częściach i komponentach badań i rozwoju, produkcji.
Rygorystyczne zasady kontroli jakości i rygorystyczny wybór wykwalifikowanych dostawców gwarantują, że klienci Royal Technology otrzymują najbardziej zaawansowany sprzęt wysokiej jakości po najbardziej przystępnych cenach.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
Aby pobrać wypełnioną broszurę, kliknij tutaj: Maszyna do powlekania próżniowego R&D - depozyt PECVD + PVD ...