Specyfikacja źródeł rozpylania magnetronowego
Kluczowe cechy
1. Konstrukcja pola magnetycznego elementu skończonego
2. Magnes odizolowany od wody chłodzącej
3. Kompatybilny z mocami DC/MF i RF
4. Wysokie wykorzystanie docelowe
5. Regulowany kierunek wyrzucania
6. Wysoka gęstość mocy i doskonała jednorodność
7. Zrównoważony i niezrównoważony wybór trybu
8. Wykorzystanie docelowe: > 80%
Aplikacje:
Do osadzania różowego złota, kruczoczarnego, niebieskiego i przewodzącego filmu.Może być instalowany na pionowych i poziomych systemach powlekania magnetronowego PVD.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok