Rozpylanie magnetronowe jest szeroko stosowane do osadzania metali ogniotrwałych, takich jak tantal, tytan, wolfram, niob, który wymagałby bardzo wysokich temperatur osadzaniaoraz metale szlachetne: złoto i srebro, które są również używane do osadzania metali o niższych temperaturach topnienia, takich jak miedź, aluminium, nikiel, chrom itp.
Tantal jest najczęściej używany w elektronice przemysł jako powłoka ochronna ze względu na dobrą odporność na erozję.
Zastosowania cienkiej warstwy napylonej tantalu:
1. Przemysł mikroelektroniczny, ponieważ folie mogą być reaktywnie rozpylane, a tym samym można kontrolować rezystywność i współczynnik rezystancji temperaturowej;
Zalety techniczne
Standardowy system osadzania napylania tantalowego firmy Royal Technology:
Główne konfiguracje | |
MODEL | RTAS1000 |
TECHNOLOGIA |
Pulsacyjne rozpylanie magnetronowe DC Powlekanie łukiem katodowym (opcja, określona przez proces powlekania) |
MATERIAŁ KOMORY | Stal nierdzewna (S304) |
ROZMIAR KOMORY | Φ1000*1000mm (wys.) |
TYP KOMORY | kształt D, komora cylindryczna |
RACK OBROTOWY I SYSTEM JIG | Napęd satelitarny lub centralny układ napędowy |
ZASILACZE |
Zasilacz do rozpylania DC: 2 ~ 4 zestawy Źródło jonów: 1 zestaw |
MATERIAŁ DEPOZYCYJNY | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu itp. |
ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | Planarne katody rozpylające + katody łukowe |
KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + IPC (modele pracy ręcznej + automatycznej + półautomatycznej) |
SYSTEM POMPOWY | Obrotowa pompa łopatkowa: SV300B – 1 zestaw (Leybold) |
Pompa Roots: WAU1001 – 1 zestaw (Leybold) | |
Pompa utrzymująca: D60C – 1 zestaw (Leybold) | |
Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym: MAG2200 – 2 zestawy (Leybold) |
|
REGULATOR PRZEPŁYWU MASY GAZU | 2 kanały: Ar i N2 |
PRÓŻNIOWNIK | Inficon lub Leybold |
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt |
OGRZEWANIE | Grzałki: 20KW.Maks.temp.: 450 ℃ |
CHŁODZENIE | Chiller przemysłowy (zimna woda) |
MOC MAKS. | 100KW (w przybliżeniu) |
ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII | 45 KW (w przybliżeniu) |
WAGA BRUTTO | T (w przybliżeniu) |
ŚLAD STOPY | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
ENERGIA ELEKTRYCZNA |
AC 380V/3 fazy/50HZ/5 linii |
W miejscu:
Czas budowy: 2018
Lokalizacja: Chiny
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej zastosowań i specyfikacji.