Maszyna do powlekania folii ITO, folia typu ITO Powlekarka magnetronowa / Maszyna do osadzania szkła ITO
Maszyna do powlekania folii ITOAplikacje standardowe: PET, szkło do generowania warstw powłokowych ITO.
Czas budowy maszyny: 2012, Chiny.
Zastosowanie: folia AR, folia ITO.
Elementy pracy:
Rozmiar: 300 mm * 100 mm
Grubość PET: 0,175 mm +/- 0,05 mm
* Grubość folii ITO: 185nm +/- 5nm
Rezystancja arkusza: 6 ~ 8 omów / m2
Maszyna do powlekania folii ITOKonfiguracje techniczne:
1) Źródła rozpylania DC: Cu, Al, ITO
2) Źródła rozpylania MF
3) pompa Turbo Molecular + grupa Pompy Wsporczej
4) Pole magnetyczne o wysokiej intensywności w celu poprawy jakości filmu ITO, wskaźnik wykorzystania docelowego > 30%
5) Cu, Al, Si docelowy stopień wykorzystania > 35%
6) Szybkość osadzania: 30nm/min ~ 40nmm/min
7) Obszar jednorodności rozpylania: 350 mm
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
