Maszyna do napylania magnetronowego o średniej częstotliwości, maszyna do malowania metodą napylania MF, system napylania próżniowego z napylaniem
1 zestaw
MOQ
negotiable
Cena £
Mid - Frequency Magnetron Sputtering Coating Machine, MF Sputtering Coating Plant, Sputtering Vacuum Deposition System
cechy Galeria opis produktu Poprosić o wycenę
cechy
Podstawowe informacje
Miejsce pochodzenia: Made in China
Nazwa handlowa: ROYAL
Orzecznictwo: CE
Numer modelu: RTSP1212-MF
High Light:

magnetron sputtering equipment

,

vacuum deposition equipment

Zapłata
Szczegóły pakowania: Standard eksportowy, pakowany w nowe skrzynki / kartony, odpowiedni do transportu na dalekie odległo
Czas dostawy: 12 tygodni
Zasady płatności: L/C, D/A, D/P, T/T
Możliwość Supply: 6 zestawów miesięcznie
specyfikacje
Źródła osadzania: Sterowany łuk katodowy + katoda rozpylania MF
Technika: PVD, zrównoważona / niezrównoważona katoda rozpylania Magentron
Aplikacje: Al2O3, płytki ceramiczne AlN, płytki Al2O3 na diodach LED, półprzewodniki
Funkcje filmowe: odporność na zużycie, silna przyczepność, dekoracyjne kolory powłok
Lokalizacja fabryki: Miasto Szanghaj, Chiny
Lokalizacja fabryki: Miasto Szanghaj, Chiny
Serwis na całym świecie: Poland - Europe; Polska - Europa; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
Serwis na całym świecie: Poland - Europe; Polska - Europa; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
Serwis na całym świecie: Poland - Europe; Polska - Europa; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
Usługi szkoleniowe: Obsługa maszyny, konserwacja, proces powlekania Przepisy, program
Usługi szkoleniowe: Obsługa maszyny, konserwacja, proces powlekania Przepisy, program
Gwarancja: Ograniczona gwarancja 1 rok za darmo, całe życie na maszynę
OEM i ODM: dostępne, wspieramy projekt i produkcję na zamówienie;
OEM i ODM: dostępne, wspieramy projekt i produkcję na zamówienie;
opis produktu

Maszyna do napylania rozpylanego magnetronu o średniej częstotliwości / system napylania MF

Powlekanie próżniowe metodą magnetronową jest rodzajem mentodowania powierzchniowego PVD. Może być stosowany do produkcji folii przewodzących lub nieprzewodzących, na wielu rodzajach materiałów: metali, szkła, ceramiki, tworzyw sztucznych, stopów metali. Koncepcja osadzania przez napylanie: materiał powlekający (cel, również nazywana katodą) i detale (substraty, zwane również anodą) są umieszczane w komorze próżniowej i ciśnienie jest zmniejszane. Rozpylanie jest inicjowane przez umieszczenie celu pod napięciem i wprowadzenie gazu argonowego, który tworzy jony argonu (wyładowanie jarzeniowe). Jony argonu przyspieszają w kierunku celu procesu i zastępują atomy docelowe. Atomy rozpylania są następnie skraplane na podłożu i tworzą bardzo cienką i wysoką warstwę jednorodności. Różne barwy można osiągnąć przez wprowadzenie gazów reaktywnych, takich jak azot, tlenek lub acetylen do gazy jonowej podczas procesu powlekania.

Rozpylanie magnetronowe: rozpylanie DC, rozpylanie MF, rozpylanie RF

Co to jest rozpylanie MF?

W porównaniu z rozpylaniem DC i RF, rozpylanie o średniej częstotliwości stało się główną techniką rozpylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłoki, w szczególności do nakładania powłok dielektrycznych i nieprzewodzących powłok filmowych na powierzchnie, takie jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wiele warstw folia z materiału kompozytowego itp.

Zastępuje ona rozpylanie z częstotliwością radiową, ponieważ działa z częstotliwością kHz, a nie z częstotliwością MHz, w celu uzyskania znacznie szybszego osadzania, a także może uniknąć zatrucia docelowego podczas nakładania cienkich warstw, jak DC.

Tarcze rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami. Stosuje się dwie katody z przełączanym prądem przemiennym pomiędzy nimi, który oczyszcza powierzchnię docelową za każdym odwróceniem, aby zmniejszyć wzrost ładunku na dielektrykach, co prowadzi do wyładowań łukowych, które mogą wyrzucać kropelki do plazmy i zapobiegać jednorodnemu wzrostowi cienkiej warstwy --- to właśnie nazywamy zatruciem docelowym.

Wydajność systemu rozpylania MF

1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 - 6 Torr.

2. Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10 - 4 Torr.

3. Czas pompowania: od 1 atmosfery do 1,0 × 10 - 4 Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowywanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, itp.

5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie

Struktura systemu rozpylania MF

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa

2. Rouling System pompowania próżniowego (pakiet pompy podpierającej)

3. Układ wysokiego podciśnienia (magnetycznie zawieszona pompa molekularna)

4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny

5. System urządzeń wspomagających (system podrzędny)

6. System osadzania: katoda napylająca MF, zasilanie MF, źródło odchylenia źródła jonów jako opcja

MF Sputtering System RTSP1212-MF Dane techniczne

MODEL RTSP1212-MF
TECHNOLOGIA MF Rozpylanie magnetronowe + jonowanie
MATERIAŁ Stal nierdzewna (S304)
ROZMIAR KOMORY Φ1250 * H1250mm
TYP KOMORY Cylinder, pionowy, 1-drzwiowy
SYSTEM SPUTTERING Wykonany wyłącznie z cienkiej czarnej powłoki
MATERIAŁ DEPOSITION Aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna,
Nikiel
ŹRÓDŁO USUWANIA 2 zestawy celów napylania cylindrycznego MF + 8 sterowanych źródeł łuku katodowego
GAZ MFC-4 sposoby, Ar, N2, O2, C2H2
KONTROLA PLC (programowalny sterownik logiczny) +
SYSTEM POMPY SV300B - zestaw 1 (Leybold)
WAU1001 - 1 zestawy (Leybold)
D60T- 2sets (Leybold)
Turbo Pompy Molekularne: 2 * F-400/3500
WSTĘPNE ZABIEGI Napięcie polaryzacji: 1 * 36 KW
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów
CHŁODZENIE Zimna woda
POWER ELECTRICAL 480 V / 3 fazy / 60 Hz (zgodność z USA)
460 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z azjatycką)
380 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z UE-CE)
ŚLAD STOPY L3000 * W3000 * H2000mm
WAGA CAŁKOWITA 7,0 T
ŚLAD STOPY (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM
CZAS CYKLU 30 ~ 40 minut (w zależności od materiału podłoża,
geometria podłoża i warunki środowiskowe)
POWER MAX .. 155 KW

ŚREDNIA MOC

ZUŻYCIE (OK.)

75 kW

Mamy więcej modeli do wyboru!

Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.

Skontaktuj się z nami
Faks : 86-21-67740022
Pozostało znaków(20/3000)