Maszyna do napylania magnetronowego DC / System napylania DC
Modele rozpylania magnetronowego: rozpylanie DC, rozpylanie MF, rozpylanie RF
Co to jest rozpylanie DC?
Napylanie DC stosowane głównie do napylania czystych celów metalowych, takich jak: chrom, tytan, aluminium, miedź, stal nierdzewna, nikiel, srebro, złoto w przypadku folii o wysokiej przewodności.
Napylanie DC to technika powlekania cienkowarstwowego fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD), w której materiał docelowy, który ma być użyty jako powłoka, jest bombardowany cząsteczkami zjonizowanego gazu, co powoduje, że atomy są „napylane” do plazmy.Te odparowane atomy są następnie osadzane, gdy kondensują jako cienka warstwa na powlekanym podłożu.
Napylanie prądem stałym jest najbardziej podstawowym i niedrogim rodzajem napylania do osadzania metali PVD i przewodzących elektrycznie materiałów powlekających.Dwie główne zalety prądu stałego jako źródła zasilania w tym procesie to łatwość kontrolowania i tania opcja, jeśli wykonujesz osadzanie metalu w celu powlekania.
Sputtering DC jest szeroko stosowany w przemyśle półprzewodników, tworząc obwody mikrochipowe na poziomie molekularnym.Stosuje się go do napylania złotem biżuterii, zegarków i innych wykończeń dekoracyjnych, do nieodblaskowych powłok na szkle i elementach optycznych, a także do metalizowanych tworzyw sztucznych opakowaniowych, lusterek samochodowych, reflektorów samochodowych, kół samochodowych i piast itp.
Maszyna do napylania magnetronowego DCWydajność
1. Najwyższe ciśnienie próżniowe: lepsze niż 5,0 × 10-6Torr.
2. Ciśnienie robocze podciśnienia: 1,0 × 10-4Torr.
3. Czas odpompowania: od 1 atm do 1,0×10-4Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał do metalizacji (rozpylanie + odparowanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC itp.
5. Model operacyjny: w pełni automatycznie/półautomatycznie/ręcznie
Struktura maszyny do napylania magnetronowego DC
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
2. System pompowania próżniowego zgrubnego (pakiet pompy pomocniczej)
3. System pompowania wysokiego podciśnienia (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi
5. System obiektów pomocniczych (podsystem)
6. System osadzania: katoda rozpylająca DC, zasilanie prądem stałym, źródło jonów zasilania polaryzacyjnego dla opcjonalnego
Maszyna do napylania magnetronowego DCSpecyfikacje
| RTSP1250-DC | |||||||
| MODEL | RTSP1250-DC | ||||||
| TECHNOLOGIA | Rozpylanie magnetronowe (DC) + powlekanie jonowe | ||||||
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||||||
| ROZMIAR KOMORY | Φ1250*H1250mm | ||||||
| TYP KOMORY | Cylinder, pionowy, 1-drzwiowy | ||||||
| SYSTEM ROZPYLAJĄCY | Wyłącznie projekt do osadzania cienkiej czarnej folii | ||||||
| MATERIAŁ DEPOZYCYJNY | Aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna, nikiel, tytan | ||||||
| ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | Cylindryczne / planarne cele rozpylania + 7 sterowanych źródeł łuku katodowego | ||||||
| GAZ | MFC- 4 drogi, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + Ekran dotykowy |
||||||
| SYSTEM POMPOWY | SV300B - 1 zestaw (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 zestaw (Leybold) | |||||||
| D60T-2 zestawy (Leybold) | |||||||
| Turbo pompy molekularne: 2* F-400/3500 | |||||||
| OBRÓBKA WSTĘPNA | Zasilanie polaryzacji: 1*36 KW | ||||||
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt |
||||||
| CHŁODZENIE | Zimna woda | ||||||
| ZASILANIE ELEKTRYCZNE | 480 V/3 fazy/60 Hz (zgodne z USA) | ||||||
| 460 V/3 fazy/50 Hz (zgodne z Azją) | |||||||
| 380V/3 fazy/50HZ (zgodny z EU-CE) | |||||||
| ŚLAD STOPY | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| WAGA CAŁKOWITA | 7,0 T | ||||||
| ŚLAD STOPY | (L*W*H) 5000*4000*4000 MM | ||||||
| CZAS CYKLU | 30~40 minut (w zależności od materiału podłoża, geometria podłoża i warunki środowiskowe) |
||||||
| MOC MAKS.. | 155 kW | ||||||
| ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII (W PRZYBLIŻENIU) | 75KW | ||||||
Mamy więcej modeli do wyboru!
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
