PVD MF Magnetronowa maszyna do powlekania rozpylającego, system rozpylania MF, urządzenie do osadzania rozpylającego TiN MF
MF Mangetron Sputtering Coater RT1215-SPMF jest przeznaczony do powlekania warstwą przewodzącą miedzi, aluminium, tworzywa sztucznego, metalowych płytek drukowanych. Może kondensować cienką warstwę Nano na podłożach. Oprócz rozpylania Ag, może również deponować Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L.
Maszyna RTSP1215-MF jest instalowana z 2 parami katod rozpylających MF na komorze i 1 zestawem źródła jonów warstwy anodowej do czyszczenia bombardowania plazmowego przed osadzeniem filmu PVD.
Źródło jonów jest oryginalne od firmy Gencoa, właściwości:
1. Zoptymalizowane pola magnetyczne do wytwarzania skolimowanej wiązki plazmy przy standardowych ciśnieniach rozpylania
2. Zautomatyzowana regulacja gazu w celu utrzymania stałego prądu i napięcia - automatyczne sterowanie wieloma gazami
3. Anoda grafitowa i katoda w celu ochrony podłoża przed zanieczyszczeniem i zapewnienia trwałości komponentów
4. Standardowa izolacja elektryczna RF na wszystkich źródłach jonów
5. Bezpośrednie chłodzenie anody i katody - szybkie przełączanie części
6. Łatwe przełączanie części katody w celu zapewnienia wielu pułapek magnetycznych do pracy przy niższym napięciu lub skupionej wiązki
7. Zasilacz o regulowanym napięciu ze sprzężeniem zwrotnym regulacji gazu w celu utrzymania tego samego prądu przez cały czas
RTSP1215-MF MF Urządzenie do napylania powłokowego
RTSP1215-MF MF Urządzenia do napylania powłokowego:
1. Dostępne na podłożach: z tworzywa sztucznego, polimeru, szkła i arkuszy ceramicznych, stali nierdzewnej, blachy miedzianej, płyty aluminiowej itp.
2. Aby wygenerować film Nano, taki jak: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al itp.
RT1215-SPMF MF Sprzęt do napylania powłokowego Cechy konstrukcyjne:
1. Solidna konstrukcja, dobra do ograniczonej przestrzeni w pomieszczeniu
2. Łatwy dostęp w celu konserwacji i naprawy
3. System szybkiego pompowania dla wysokiej wydajności
4. Dostępna jest również obudowa elektryczna standardu CE, standard UL.
5. Dokładne wykonanie
6. Stabilny bieg gwarantujący wysoką jakość produkcji folii.
Status pracy cylindra lub planarnej maszyny napylającej MF
RT1215-SPMF MF Sprzęt do napylania powłokowego Dane techniczne:
| MODEL | RT1215-SPMF |
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) |
| ROZMIAR KOMORY | Φ1200 * 1500 mm (H) |
| TYP KOMORU | Konstrukcja 1-drzwiowa, pionowa |
| PAKIET POJEDYNCZEJ POMPY | Rotacyjna pompa łopatkowa próżniowa |
| Roots Pump Vacuum | |
| Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym | |
| Dwustopniowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa | |
| TECHNOLOGIA | Rozpylanie magnetronowe MF, liniowe źródło jonów |
| ZASILACZ | Zasilanie rozpylania + Bias Zasilanie + Źródło jonów |
| ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | 2 pary MF Katody rozpylające + źródło jonów |
| KONTROLA | PLC + ekran dotykowy |
| GAZ | Mierniki przepływu gazu (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, azot i etyna, tlen |
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa w celu ochrony operatorów i sprzętu |
| CHŁODZENIE | Woda chłodząca |
| CZYSZCZENIE | Źródło wyładowania / jonu |
| POWER MAX. | 120 kW |
| ŚREDNIE ZUŻYCIE MOCY | 70 kW |
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
