Indukcyjna maszyna do powlekania przez odparowanie
Podsumowanie:
Induction heating is widely used in different fields due to high process productivity and universality, cleanness and possibility of full automation. Ogrzewanie indukcyjne jest szeroko stosowane w różnych dziedzinach ze względu na wysoką wydajność procesu i uniwersalność, czystość i możliwość pełnej automatyzacji. As one method of PVD thermal evaporation technology, the process is friendly for environment. Jako jedna z metod technologii termicznego odparowywania PVD, proces jest przyjazny dla środowiska. Since the induction allows reaching temperature of 2000℃ and more, this method is very suitable for industrial production and scientific researches. Ponieważ indukcja pozwala osiągnąć temperaturę 2000 ℃ i więcej, ta metoda jest bardzo odpowiednia do produkcji przemysłowej i badań naukowych.
The RTEP0404 Induction Evaporation Coating Machine is designed for C60 evaporating deposition on varies of materials. Indukcyjna maszyna do powlekania wyparnego RTEP0404 jest przeznaczona do osadzania wyparnego C60 na różnych materiałach. C60 manufactures provides R&D and testing results for prospective. Producenci C60 zapewniają wyniki badań i rozwoju oraz testy na przyszłość. A strong tool assisting them to expand new applied industries. Silne narzędzie pomagające rozwinąć nowe branże stosowane.
The first set is produced for Shanghai University. Pierwszy zestaw jest produkowany dla Uniwersytetu w Szanghaju. Industrial production model is under processing. Model produkcji przemysłowej jest w trakcie przetwarzania.
Główne zastosowania:
Nanieść cienkie warstwy i powłoki
Rodzaj:
Orientacja pionowa, model Bell Jar, górne otwarcie
Projekt Funkcje:
Specyfikacja techniczna:
1. Ostateczne ciśnienie próżniowe: lepsze niż 9,0 * 10-5 Rocznie;
Podstawowa próżnia: 3,0 * 10-4 Rocznie
3. Czas pompowania: od 1 atm do 2,0 × 10-3) Pa ≤25 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło osadzania: parownik indukcyjny, tygiel
5. Model operacyjny: ręcznie
6. Heating: from room temperature up to max. 6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do maks. 1000℃, 1000 ℃,
7. Moc parowania: częstotliwość radiowa RF i zasilanie
8. Gaz roboczy: Ar
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 400 mm
Wysokość wewnętrzna: 400 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z pomalowaną powierzchnią wykończeniową.
Podwozie komorowe Stal miękka SS41 z lakierowaną powłoką wykończeniową.
1.3 Tarcza parowania: SUS304
1.4 Widok okna: na drzwiach komory
1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)
2. System pompowania próżniowego zgrubnego:
Dwustopniowa olejowa pompa rotacyjna
3. System pompowania w wysokiej próżni: pompa molekularna Turbo
4. Elektryczny system sterowania i obsługi- Jednostka sterująca HMI
4.1 Obwód główny: Wyłącznik bezpiecznikowy bez bezpiecznika, wyłącznik elektromagnetyczny, C / T szeregowo
4.2 Moc parowania
4.3 System kontroli parowania
4.4 System operacyjny: PLC
4.5 Układ pomiarowy
Ciśnienie podciśnienia: próżniomierz: Pirani + miernik penning
4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5. . Deposition System System osadzania
5.1 Źródło osadzania: indukcyjny parownik termiczny
5.2 Materiał do osadzania: C60
6. Podsystem
6.1 Układ sterowania zaworem sprężonym powietrzem
6.2 Układ wody chłodzącej: Rura przepływowa i układ zaworu przełączającego
6.3 Gaz roboczy: Ar (> 99,99%)
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8 kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 8 kVA, średni pobór mocy: 3 kVA
Obszar instalacji: (L * W * H) 2000 * 200 * 2000 mm
Wydech: Odpowietrzenie dla pomp mechanicznych
Automatycznie pociągając moduł góra-dół, aby otworzyć / zamknąć komorę
System szaf sterowniczych:
Wskazówki bezpieczeństwa:
Shilinging Ochrona przed promieniowaniem RF
Dołożono wszelkich starań, aby zaprojektować i opracować najbardziej odpowiedni system powlekania, który spełnia nasze wymagania dotyczące wysokiej wydajności produkcji i jakości powłoki.
Jeśli firma wymaga niestandardowego systemu powlekania, prosimy o podzielenie się przemyśleniami, pomysłami z naszym zespołem i przesłanie specyfikacji produktów, będziemy współpracować, aby znaleźć najlepsze rozwiązania.