Aplikacje:
Maszyna RTSP1213 jest układem rozpylania typu wsadowego, może osadzać różne twarde powłoki, miękkie powłoki, folie wielowarstwowe i stałe powłoki smarujące na podłożach z materiałów metalicznych i niemetalicznych. Stosowane w przemyśle pojazdów napędzanych ogniwami wodorowymi, produktów fotonicznych, lotnictwa i innych nowych gałęzi przemysłu energetycznego.
Nieruchomości:
Aby poprawić przewodność powierzchni;
Wysoka odporność na korozję;
Wysoka odporność na zużycie;
Wysoka twardość
Hydrofobowa kompozycja i inne folie funkcjonalne
Dostępne dla lakierów złożonych: folie metalowe i niemetaliczne.
Zakres grubości folii od 100 nm do 12 μm, tolerancja grubości ± 5%
Silna przyczepność.
Obróbka powierzchni hartowania w niskich temperaturach.
Rodzaj:
Orientacja pionowa, struktura wielościenna, drzwi dwuskrzydłowe (przód i tył)
Cechy:
Specyfikacja techniczna
1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 8,0 * 10 -5 Pa;
3. Czas pompowania w dół: od atm do 1,0 × 10 - 3 Pa ≤15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło osadzania: zrównoważone / niezbalansowane katody rozpylające
5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do max. 450 ℃,
7. Czyszczenie plazmowe i osadzanie plazmowe: źródło jonów liniowych anody
8. Magnetic Closed - Loop filed. (Asymetryczne / równoważące katody)
9. Bias Zasilanie dla wyładowania jarzeniowego.
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: Średnica wewnętrzna 1200 mm
Wewnętrzna wysokość: 1300 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Struktura wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
Podwozie komorowe SS41 ze stali miękkiej z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
1.3 Osłona rozpylania: SUS304
1.4 Okno widoku: na drzwiach komory - 4 zestawy (2 na każde drzwi)
1,5 próżniowy komorowy zawór odpowietrzający (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: materiał SUS304
2. System pomp próżniowych Rou ghing :
Łopatkowa pompa próżniowa łopatkowa + Pompa korzeniowa + pompa podtrzymująca (Leybold)
3. Wysokie próżniowe układy pompowania :
Magnetyczne zawieszenie pompy molekularnej (Leybold)
4. Elektryczne sterowanie i system operacyjny - PLC + ekran dotykowy
4.1 Obwód główny: brak bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T w typoszeregu
4.2 Zasilanie rozpylaniem + zasilacz źródła jonów + zasilacz wyrównawczy (zaawansowana energia)
4.3 System kontroli osadzania rozpylania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie
4.5 System pomiarowy
Ciśnienie próżni: miernik próżni: wskaźnik Pirani + Penning + Pełnozakresowy miernik próżni - marka europejska
Urządzenie do pomiaru temperatury: termoelement
MFC: Kontroler przepływu masowego (4 sposoby), tryb wyświetlania cyfrowego - marka europejska
4.6 System alarmowy: Ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, niewłaściwe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 . System osadzania
5.1 Źródło osadzania: katody rozpylające, źródło jonów - marka europejska
5.2 Materiał osadzania: Cel węglowy
6. Podsystem
6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza
6.2 System wody chłodzącej: rura doprowadzająca wodę i system zaworu przełączającego
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 75 kVA, średni pobór mocy: 40 kW
Obszar instalacji: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200 mm
Wydech: odpowietrznik do pomp mechanicznych
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.