Słowa kluczowe: bezpośrednio platerowana miedź, DPC, powlekanie miedzią ceramiką, twarde powłoki PVD, proces PECVD, folia DLC, folia diamentowa, jak węgiel, napylanie, folia optyczna, katoda rozpylająca Gencoa Magnetron, źródło jonów, PA PVD
Funkcje projektu RTAC950-SP:
Specyfikacja techniczna
1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 8,0 * 10 - 4 Pa;
3. Czas pompowania w dół: od atm do 1,0 × 10 - 3 Pa ≤15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło odkładania: katodowe katody rozpylające z magnetronem Gencoa, sterowane katody łukowe, źródło jonów
5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do max. 500 ℃,
9. Źródło jonów dla procesu PECVD i PA PVD.
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: wewnętrzna głębokość 950 mm
Wewnętrzna wysokość: 1350 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Struktura wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
Podwozie komorowe SS41 ze stali miękkiej z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
1.3 Tarcza komorowa: SUS304
1.4 Okno widoku: na drzwiach komory -2
1,5 próżniowy komorowy zawór odpowietrzający (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: 2 zestawy, przód i tył, materiał SUS304
2. Zgrubny system pompowania próżniowego:
Olejowa łopatkowa pompa próżniowa + pompa podtrzymująca
3. Wysokie próżniowe układy pompowania:
Turbo Molecular Pump - 2 zestawy
4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny - PLC + ekran dotykowy System operacyjny:
Dostawcy:
PLC: Mitsubishi, model: FX-IN60MR-001 SERIA
Komponenty elektroniczne: SCHNEIDER, OMRON.
System ochrony bezpieczeństwa: liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt (woda, prąd gazowy, temperatura itp.)
System procesów powlekania : automatyzacja procesów i sterowanie. Automatycznie zapisywane w pamięci przez 3 miesiące. Polecane dane dotyczące receptur: docelowy prąd / napięcie pracy, przepływ masowy, ciśnienie podciśnienia, temperatura, czasy powlekania są zapisywane do analizy w celu poprawy jakości powłok.
4.1 Obwód główny: brak bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T w typoszeregu
4.2 Zasilanie: moc rozpylania MF + moc łuku DC + zasilanie polaryzujące
4.3 System kontroli osadzania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie
4.5 System pomiarowy
Ciśnienie próżni: miernik próżni: wskaźnik Pirani + Penning + Pełnozakresowy miernik próżni - marka europejska
Urządzenie do pomiaru temperatury: termoelement
MFC: Kontroler przepływu masowego (4 sposoby),
4.6 System alarmowy: Ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, niewłaściwe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 . System osadzania
5.1 Źródło osadzania: katody rozpylające + źródła łuku + źródło jonów
5.2 Materiał do osadzania: ITO, tytan, chrom, aluminium, stal nierdzewna, TiAl itp.
6. Podsystem
6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza
6.2 System wody chłodzącej: rura doprowadzająca wodę i system zaworu przełączającego
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, średni pobór mocy: 60 kW
Obszar instalacji: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 mm
Wydech: odpowietrznik do pomp mechanicznych
Aplikacje
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
