Napełniarka do powlekania Mangetron RTSP1215 jest przeznaczona do powlekania warstwą przewodzącą z miedzi, aluminium, tworzywa sztucznego i metalu. Może skondensować cienką warstwę Nano na podłożach. Oprócz rozpylania Ag, może również deponować Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L.
Maszyna RTSP1215 jest instalowana z 2 parami katod rozpylających MF na komorze, przed odkładaniem filmu PVD i 1 zestawem źródła jonów anodowych do czyszczenia plazmą plazmową.
Źródło jonów jest oryginalne od firmy Gencoa, właściwości:
1. Zoptymalizowane pola magnetyczne do wytworzenia skolimowanej wiązki plazmowej przy standardowych ciśnieniach rozpylania
2. Zautomatyzowana regulacja gazu w celu utrzymania stałego prądu i napięcia - automatyczne sterowanie wieloma gazami
3. Anoda grafitowa i katoda chroniąca substrat przed zanieczyszczeniem i zapewniająca długą żywotność komponentów
4. Standardowa izolacja elektryczna RF we wszystkich źródłach jonów
5. Bezpośrednie chłodzenie anody i katody - szybkie przełączanie części
6. Łatwe przełączanie części katodowych w celu zapewnienia wielu pułapek magnetycznych do pracy z niskim napięciem lub wiązki skupionej
7. Zasilanie regulowane napięciem ze sprzężeniem zwrotnym regulacji gazu, aby utrzymać ten sam prąd przez cały czas
Aplikacje do powlekania metodą napylania RTSP1215:
1. Dostępne na podłożach: z tworzyw sztucznych, polimeru, szkła i ceramiki, stali nierdzewnej, blachy miedzianej, płyty aluminiowej itp.
2. Aby wygenerować film Nano jak: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al itp.
RTSP1215 Sputtering Coating Sprzęt Cechy konstrukcyjne:
1. Solidna konstrukcja, dobra dla ograniczonej przestrzeni w pomieszczeniu
2. Łatwy dostęp w celu konserwacji i naprawy
3. Szybki system pompowania dla wysokiej wydajności
4. Dostępna jest również obudowa elektryczna standardu CE, standard UL.
5. Dokładne wykonanie fabryczne
6. Stabilne działanie w celu zagwarantowania wysokiej jakości produkcji folii.
Kluczową cechą jest dostosowany program obsługi i kontroli Royal oraz oprogramowanie, które jest dostępne do spełnienia różnych wymagań od wymagań klienta. System sterowania to PLC + ekran dotykowy:
Zdalne monitorowanie i sterowanie PLC (sieć lokalna)
1) Zdalny program Team View
2) Kopia zapasowa sterownika PLC + kopia zapasowa programu HMI
3) Środowisko operacyjne komputera
System: Window 2000 / Window XP / Window 7
Wyświetl piksel: 1920 * 1080
Konfiguracje
| MODEL | RTSP1215 |
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) |
| ROZMIAR KOMORY | Φ1200 * 1500mm (H) |
| TYP KOMORY | Konstrukcja 1-drzwiowa, pionowa |
| POJEDYNCZY PAKIET POMPY | Rotary Vacuum Pump |
| Pompa próżniowa Roots | |
| Magnetyczne zawieszenie pompy molekularnej | |
| Dwustopniowa obrotowa pompa próżniowa | |
| TECHNOLOGIA | Mag Magnetron Sputtering, Linear Jon Source |
| ZASILACZ | Zasilanie rozpylacza + Bias Zasilanie + Źródło jonów |
| ŹRÓDŁO USUWANIA | 2 pary katody rozpylające MF + źródło jonów |
| KONTROLA | PLC + ekran dotykowy |
| GAZ | Mierniki przepływu gazu (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, azot i etyl, tlen |
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt |
| CHŁODZENIE | Woda chłodząca |
| CZYSZCZENIE | Glow Discharge / Ion Source |
| POWER MAX. | 120KW |
| ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII | 70KW |
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
