Mangetron Sputtering Coater RTSP1215 jest przeznaczony do powlekania warstwą przewodzącą miedzi, aluminium, tworzyw sztucznych i płytek drukowanych. Może kondensować cienką warstwę Nano na podłożach. Oprócz rozpylania Ag, może również deponować Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L.
Maszyna RTSP1215 jest instalowana z 2 parami katod rozpylających MF na komorze, przed osadzeniem folii PVD i 1 zestawem źródła jonów warstwy anodowej do czyszczenia bombardowania plazmowego.
Źródło jonów jest oryginalne od firmy Gencoa, właściwości:
1. Zoptymalizowane pola magnetyczne do wytwarzania skolimowanej wiązki plazmy przy standardowych ciśnieniach rozpylania
2. Zautomatyzowana regulacja gazu w celu utrzymania stałego prądu i napięcia - automatyczne sterowanie wieloma gazami
3. Anoda grafitowa i katoda w celu ochrony podłoża przed zanieczyszczeniem i zapewnienia trwałości komponentów
4. Standardowa izolacja elektryczna RF na wszystkich źródłach jonów
5. Bezpośrednie chłodzenie anody i katody - szybkie przełączanie części
6. Łatwe przełączanie części katody w celu zapewnienia wielu pułapek magnetycznych do pracy przy niższym napięciu lub skupionej wiązki
7. Zasilacz o regulowanym napięciu ze sprzężeniem zwrotnym regulacji gazu, aby utrzymać ten sam prąd przez cały czas
RTSP1215 Aplikacje do napylania powłokowego:
1. Dostępne na podłożach: z tworzywa sztucznego, polimeru, szkła i arkuszy ceramicznych, stali nierdzewnej, blachy miedzianej, płyty aluminiowej itp.
2. Aby wygenerować film Nano, taki jak: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al itp.
RTSP1215 Wyposażenie do napylania powłokowego:
1. Solidna konstrukcja, dobra do ograniczonej przestrzeni w pomieszczeniu
2. Łatwy dostęp w celu konserwacji i naprawy
3. System szybkiego pompowania dla wysokiej wydajności
4. Dostępna jest również obudowa elektryczna standardu CE, standard UL.
5. Dokładne wykonanie
6. Stabilny bieg gwarantujący wysoką jakość produkcji folii.
Kluczową cechą jest niestandardowy program i oprogramowanie Royal do obsługi i kontroli, które jest dostępne w celu spełnienia różnych wymagań klientów. System sterowania to PLC + ekran dotykowy:
Zdalne monitorowanie i sterowanie PLC (sieć lokalna)
1) Pilot zdalnego sterowania Team View Program
2) Kopia zapasowa programu PLC + kopia zapasowa programu HMI
3) Środowisko operacyjne komputera
System: Windows 2000 / Windows XP / Windows 7
Wyświetl piksel: 1920 * 1080
Konfiguracje
MODEL | RTSP1215 |
MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) |
ROZMIAR KOMORY | Φ1200 * 1500 mm (H) |
TYP KOMORU | Konstrukcja 1-drzwiowa, pionowa |
PAKIET POJEDYNCZEJ POMPY | Rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa |
Roots Pump Vacuum | |
Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym | |
Dwustopniowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa | |
TECHNOLOGIA | Rozpylanie magnetronowe MF, liniowe źródło jonów |
ZASILACZ | Zasilanie rozpylania + Zasilanie bias + Źródło jonów |
ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | 2 pary MF Katody rozpylające + źródło jonów |
KONTROLA | PLC + ekran dotykowy |
GAZ | Mierniki przepływu gazu (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, azot i etyna, tlen |
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa w celu ochrony operatorów i sprzętu |
CHŁODZENIE | Woda chłodząca |
CZYSZCZENIE | Źródło wyładowań jarzeniowych / jonów |
POWER MAX. | 120 kW |
ŚREDNIE ZUŻYCIE MOCY | 70 kW |
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.