Cechy konstrukcyjne :
Specyfikacja techniczna:
1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 -6 Torr.
2. Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10 -4 Torr.
3. Czas pompowania: od 1 atmosfery do 1,0 × 10 -4 Torr≤3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta)
4. Materiał metalizujący (parowanie): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... itd.
5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 1600 mm
Wewnętrzna wysokość: 1600 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304 (opcja ze stali miękkiej SS41)
Drzwi i kołnierze SUS304 (opcja ze stali miękkiej SS41)
Struktura wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
Podwozie komorowe SS41 ze stali miękkiej z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
1.3 Osłona przeciw parowaniu: SUS304
1.4 Okno widoku: na drzwiach komory
1,5 próżniowy komorowy zawór odpowietrzający (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: materiał SUS304
2. Rouling System pompowania próżniowego (pakiet pompy podpierającej)
3. System wysokiego podciśnienia (pompa dyfuzyjna + urządzenie do wychwytywania zimna)
4. Elektryczne sterowanie i system operacyjny - PLC + ekran dotykowy
4.1 Obwód główny: brak bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T w typoszeregu
4.2 Moc parowania: 35 kVA
4.3 System kontroli parowania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie
4.5 System pomiaru ciśnienia próżniowego
Wskaźnik próżni: wskaźnik Pirani + Penning
Wskaźnik termoelektryczny: 760 Torr ~ 5 * 10 -4 Torr
4.6 System alarmowy: Ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, niewłaściwe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 . System osadzania
5.1 Źródło parowania wolframu
5.2 Materiały do termicznego odparowania: druty, pierścienie, pręty itp.
6. Podsystem
6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza
6.2 System wody chłodzącej: rura doprowadzająca wodę i system zaworu przełączającego
6.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Brooks Cryopump dla opcji.
Sprężone powietrze: 5 ~ 8kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 140 kVA
Obszar instalacji: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 mm
Wydech: odpowietrznik do pomp mechanicznych
Inne modele 2-drzwiowych pionowych urządzeń do metalizacji próżniowej :
Modele | Rozmiar (mm) | Jigowanie podłoża (szt.) | Moc parowania (kVA) | Osocze (kVA) | Czas cyklu | Energia elektryczna |
RTEP1012 | Φ1000xH1200 | 6,8,10 | 20 | 7 | 10 '~ 15' zależy od produktu | 3Phase / AC380V, 50HZ 3Ph, 220 do 440 V, 60 Hz |
RTEP1416 | Φ 1400xH1600 | 6, 8,16 | 30 | 7 | ||
RTEP1418 | Φ 1400xH1800 | 6,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1616 | Φ 1600xH1600 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1618 | Φ 1600xH1800 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1820 | Φ 1800xH2000 | 6 | 40 | 10 | ||
RTEP2022 | Φ2000xH2200 | 10,12,16 | 40 | 10 |