Maszyna do napylania magnetronowego DC z czystego metalu, maszyna do osadzania ultracienkiej warstwy miedzi/srebra/złota/grafitu
Wydajność
1. Najwyższe ciśnienie próżniowe: lepsze niż 5,0 × 10-6Torr.
2. Ciśnienie robocze podciśnienia: 1,0 × 10-4Torr.
3. Czas odpompowania: od 1 atm do 1,0×10-4Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itp.
5. Model operacyjny: w pełni automatycznie/półautomatycznie/ręcznie
Struktura
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
2. System pompowania próżniowego zgrubnego (pakiet pompy pomocniczej)
3. System pompowania wysokiego podciśnienia (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi
5. System obiektów pomocniczych (podsystem)
6. System osadzania
Maszyna do napylania miedzią Kluczowe cechy
1. Wyposażony w 8 katod łukowych skrętnych i katody rozpylające DC, katody rozpylające MF, jednostkę źródła jonów.
2. Dostępna powłoka wielowarstwowa i współosadzana
3. Źródło jonów do wstępnej obróbki plazmowej i osadzania wspomaganego wiązką jonów w celu zwiększenia przyczepności folii.
4. Urządzenie do podgrzewania podłoży ceramicznych/Al2O3/AlN;
5. System rotacji i obrotu podłoża, do powlekania jednostronnego i dwustronnego.
Cooper Magnetronowa powłoka natryskowa na ceramicznym podłożu promieniującym
Proces DPC - Direct Plating Copper to zaawansowana technologia powlekania stosowana w przemyśle LED / półprzewodnikowym / elektronicznym.Jednym z typowych zastosowań jest ceramiczne podłoże promieniujące.
Osadzanie miedzianych warstw przewodzących na podłożach Al2O3, AlN technologią napylania próżniowego PVD, w porównaniu z tradycyjnymi metodami produkcji: DBC LTCC HTCC, jej wysoką cechą jest znacznie niższy koszt produkcji.
Królewski zespół technologiczny wspierał naszego klienta w pomyślnym opracowaniu procesu DPC z technologią napylania PVD.
Maszyna RTAC1215-SP przeznaczona wyłącznie do powlekania miedzianą folią przewodzącą na wiórach ceramicznych, płytce ceramicznej.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
