AlN Chips System napylania miedzianego, maszyna do napylania miedzianego azotku glinu PVD
Wydajność
1. Ostateczne podciśnienie: lepsze niż 5,0 × 10-6 Torr.
2. Ciśnienie robocze: 1,0 x 10-4 Torr.
3. Czas odpompowywania: od 1 atm do 1,0 × 10-4 Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał metalizujący (napylanie + odparowanie łuku): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itp.
5. Model operacyjny: w pełni automatycznie / półautomatycznie / ręcznie
Struktura
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
2. Szorstki system pompowania próżniowego (zestaw pompy podkładowej)
3. Wysokopróżniowy system pompowania (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)
4. Elektryczny układ sterowania i obsługi
5. System wyposażenia pomocniczego (system podrzędny)
6. System osadzania
Najważniejsze cechy maszyny do napylania miedzianego
1. Wyposażony w 8 katod łuku sterującego i katody rozpylające prąd stały, katody rozpylające MF, źródło jonów.
2. Dostępne powłoki wielowarstwowe i współosadzane
3. Źródło jonów do wstępnego czyszczenia plazmowego i osadzania wspomaganego wiązką jonów w celu zwiększenia przyczepności powłoki.
4. Podgrzewacz podłoży ceramicznych / Al2O3 / AlN;
5. System obracania i obracania podłoża, do malowania jednostronnego i dwustronnego.
Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant on Ceramic Rading Substrate
Proces DPC - bezpośrednie powlekanie miedzi to zaawansowana technologia powlekania stosowana w przemyśle diodowym / półprzewodnikowym / elektronicznym.Jednym z typowych zastosowań jest ceramiczne podłoże promieniujące.
Osadzanie folii przewodzącej miedzi na podłożach Al2O3, AlN za pomocą technologii napylania próżniowego PVD, w porównaniu z tradycyjnymi metodami produkcji: DBC LTCC HTCC, jego cechą jest znacznie niższy koszt produkcji.
Królewski zespół technologiczny pomógł naszemu klientowi z powodzeniem opracować proces DPC z technologią rozpylania PVD.
Urządzenie RTAC1215-SP przeznaczone wyłącznie do powlekania miedzianą folią przewodzącą na chipach ceramicznych, płytkach ceramicznych.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology jest zaszczycona mogąc dostarczyć Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
