Co to jest PVD?
PVD (to krótka nazwa Physical Vapour Deposition) to proces powlekania próżniowego w celu wytworzenia cienkiej warstewki opartej na metalu, którą można równomiernie osadzać na powierzchniach przewodzących prąd elektryczny. Stosując metodę odparowywania jonów Arc i rozpylania magnetronowego MF, pojedyncza warstwa powłoki zapewnia wystarczające pokrycie bez zmiany profilu powierzchni. Technikę tę stosuje się w wielu branżach elektronicznych, w tym w mediach optycznych, optyce i komponentach półprzewodnikowych.
Właściwości cienkiej folii PVD
Precyzyjne elementy złączne PVD Cienkowarstwowa maszyna do powlekania nakładana jest za pomocą elementów złącznych i śrub, takich jak śruby, śruby, zgniatacze, łączniki, zaślepki stosowane w kosmetykach, produktach elektronicznych, maszynach mechanicznych, przemysł motoryzacyjny szeroko stosuje technologię PVD, aby uzyskać różnorodność kolorów Panton, zakres złoty, czarny, niebieski, szary, srebrny, tęcza, brąz, champage itp.
Precyzyjne łączniki Źródła osadzania maszyn cienkowarstwowych PVD
Sterowane źródła łuku kołowego do odparowywania tarczy z litego metalu;
2 pary nieblanowanych katod rozpylających MF do osadzania grafitowej cienkiej warstwy;
Odchylenie zasilacza do bombardowania jonowego w celu utworzenia obszaru plazmy do wstępnego leczenia;
Anodowe źródło liniowego jonu (dla opcjonalnego) Przetwarzanie PACVD i PECVD;
Cryopump (Polycold) do kondensacji molekularnej wody (opcjonalnie)
Precyzyjne elementy złączne Konstrukcja maszyny do powlekania cienkowarstwowego PVD
1. Komora próżniowa
2. Układ pompowania próżniowego Rouhging (pakiet pompy uzupełniającej)
3. System pompowania w wysokiej próżni (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi
5. System urządzeń pomocniczych (podsystem)
6. System osadzania: katoda rozpylająca MF, zasilacz MF, zasilacz Bias Źródło jonów dla opcjonalnego
Precyzyjne elementy złączne PVD Cienkowarstwowa obróbka mechaniczna
1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 - 6 Torr.
2. Ciśnienie robocze próżni: 1,0 × 10–4 tor.
3. Czas wypompowywania: od 1 atm do 1,0 × 10–4 Torr ≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowanie łuku): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC itp.
5. Model operacyjny: pełny automatycznie / półautomatycznie / ręcznie
Precyzyjne elementy złączne PVD Cienkowarstwowe poszycie Dane techniczne
| MODEL | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECHNOLOGIA | Napylanie magnetronowe MF + powlekanie jonowe | ||||||
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||||||
| ROZMIAR KOMORY | Φ1250 * H1250 mm | ||||||
| TYP KOMORU | Cylinder, pionowy, 1-drzwiowy | ||||||
| SYSTEM SPUTTERINGU | Wyłącznie zaprojektowany do osadzania cienkiej czarnej folii | ||||||
| MATERIAŁ DEPOZYCJI | Aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna, Nikiel | ||||||
| ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | 2 zestawy MF Cylindryczne cele rozpylania + 8 sterowanych źródeł łuku katodowego + źródło jonów Dla opcjonalnego | ||||||
| GAZ | MFC-4 sposoby, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + | ||||||
| SYSTEM POMPY | SV300B - 1 zestaw (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 zestawy (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 zestaw (Leybold) | |||||||
| Turbo Cząsteczkowe Pompy: 2 * F-400/3500 | |||||||
| OBRÓBKA WSTĘPNA | Napięcie wstępne: 1 * 36 KW | ||||||
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów | ||||||
| CHŁODZENIE | Zimna woda | ||||||
| MOC ELEKTRYCZNA | 480 V / 3 fazy / 60 Hz (zgodność z USA) | ||||||
| 460 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z Azją) | |||||||
| 380 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodny z UE-CE) | |||||||
| ŚLAD STOPY | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| WAGA CAŁKOWITA | 7,0 t | ||||||
| ŚLAD STOPY | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
| CZAS CYKLU | 30 ~ 40 minut (w zależności od materiału podłoża, geometria podłoża i warunki otoczenia) | ||||||
| POWER MAX .. | 155 KW | ||||||
| ŚREDNIA MOC ZUŻYCIE (OKOŁO) | 75 KW |
Dostępne są również niestandardowe rozmiary maszyn w oparciu o określone wymagane produkty.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
