Tantalowa maszyna do napylania PVD, folie tantalowe osadzane przez napylanie magnetronowe DC, powlekanie tantalowe PVD
Tantal jest najczęściej stosowany w przemyśle elektronicznym oraz jako powłoka ochronna w wielu gałęziach przemysłu ze względu na dobrą odporność na erozję.
Napylane folie tantalowe są szeroko stosowane w
1. Przemysł mikroelektroniczny, ponieważ folie mogą być reaktywnie rozpylane, a tym samym można kontrolować rezystywność i współczynnik rezystancji temperaturowej;
2. Instrumenty medyczne, takie jak implanty ciała, ze względu na ich wysoką biokompatybilność;
3. Powłoki na częściach odpornych na korozję, takich jak osłony termometryczne, korpusy zaworów i elementy złączne;
Napylany tantal można również stosować jako skuteczną barierę antykorozyjną, jeśli powłoka jest ciągła, uszkodzona i przylega do podłoża, ma na celu ochronę.
Zalety techniczne RTAS1000
1. Zintegrowany system projektowania wtyczek do szybkiej instalacji
2. Siemens PLC, procesor;z przemysłowym komputerem PC i sprzętem sterującym
3. Dostępne do zdalnego monitorowania i diagnostyki.
4. Elastyczny, gotowy do aktualizacji
5. Wiele katod zapewnia szybką prędkość osadzania
Więcej korzyści z maszyny:
Solidna konstrukcja, stabilna jakość, szybki cykl, krótki czas cyklu, wysoka prędkość osadzania
Główne konfiguracje | |
MODEL | RTAS1000 |
TECHNOLOGIA | Napylanie magnetronowe DC + łuk katodowy |
MATERIAŁ KOMORY | Stal nierdzewna (S304) |
ROZMIAR KOMORY | Φ1000*1000mm (wys.) |
TYP KOMORY | kształt D, komora cylindryczna |
RACK OBROTOWY I SYSTEM JIG | Napęd satelitarny lub centralny układ napędowy |
ZASILACZE | Zasilanie napylania DC: 2~4 zestawy Zasilanie polaryzacji: 1 zestaw Zasilanie łuku: 11 zestawów |
MATERIAŁ DEPOZYCYJNY | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu itp. |
ŹRÓDŁO DEPOZYCJI |
Planarne katody rozpylające + katody łukowe Uwaga: dostępne jest napylanie cylindryczne DC; |
KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + ekran dotykowy (modele ręczne + automatyczne + półautomatyczne) |
SYSTEM POMPOWY | Rotacyjna pompa łopatkowa: SV300B - 1 zestaw (Leybold) |
Pompa Roots: WAU1001 - 1 zestaw (Leybold) | |
Pompa utrzymująca: D60C - 1 zestaw (Leybold) | |
Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym: MAG2200 - 2 zestawy (Leybold) | |
REGULATOR PRZEPŁYWU MASY GAZU | 4 kanały, Made in China, Seven Star (seria CS, ) model cyfrowy (Ar, N2, O2, C2H2) |
PRÓŻNIOWNIK | Model: ZDF-X-LE, wyprodukowany w Chinach |
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt |
OGRZEWANIE | Grzałki: 20KW.Maks.temp.: 450 ℃ |
CHŁODZENIE | Chiller przemysłowy (zimna woda) |
MOC MAKS. | 100KW (w przybliżeniu) |
ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII | 45 KW (w przybliżeniu) |
WAGA BRUTTO | T (w przybliżeniu) |
ŚLAD STOPY | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
ZASILANIE ELEKTRYCZNE | AC 380V/3 fazy/50HZ/5 linii |
Cylindryczne katody rozpylające Płaskie katody rozpylające
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
Pobierz broszurę, kliknij tutaj:System osadzania napylania magnetronowego.pdf
Aplikacja systemu napylania magnetronowego...