Specyfikacje źródeł rozpylania magnetronów
Kluczowe cechy
1. Konstrukcja pola magnetycznego o skończonym elemencie
2. Magnes izolowany od wody chłodzącej
3. Kompatybilny z mocami DC / MF i RF
4. Wysokie wykorzystanie celu
5. Regulowany kierunek wysuwania
6. Wysoka gęstość mocy i doskonała jednorodność
7. Wybór trybu zbalansowanego i niezrównoważonego
Maksymalna moc rozpylania | |
Chłodzenie pośrednie | > 20 W / cm 2 (DC) |
> 7 W / cm 2 (RF) | |
Napięcie rozładowania / | 100 do 1500 woltów |
Prąd rozładowania | > 0,05 amper / cm 2 |
Ciśnienie operacyjne | 0,05 do 5 Pa |
Docelowe wykorzystanie | > 35% |
Cel | |
Formularz | Prostokątna / Planarna |
Grubość | 6 mm ~ 16 mm |
Szerokość | 125 mm |
Instalacja | Wewnętrzny / zewnętrzny |
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok