Właściwości maszyny Multi950:
Compact Footprint,
Standardowa konstrukcja modułowa,
Elastyczne,
Niezawodny,
Octal Chamber,
Konstrukcja dwudrzwiowa zapewniająca dobry dostęp
Procesy PVD + PECVD.
Cechy projektu:
1. Elastyczność: katody łukowe i rozpylające, kołnierze montażowe źródła jonów są znormalizowane dla elastycznej wymiany;
2. Wszechstronność: może składać różne metale nieszlachetne i stopy; powłoki optyczne, twarde powłoki, miękkie powłoki, folie złożone i stałe folie smarujące na podłożach metalowych i niemetalowych.
3. Prosta konstrukcja: konstrukcja dwudrzwiowa, przedni i tylny otwór ułatwiający konserwację.
Maszyna Multi950 jest dostosowanym do wielu potrzeb systemem próżniowego osadzania dla badań i rozwoju. Po półrocznej dyskusji z zespołem Uniwersytetu w Szanghaju, kierowanym przez profesora Chena, w końcu potwierdziliśmy projekt i konfiguracje do realizacji ich aplikacji badawczo-rozwojowych. System ten jest w stanie osadzać przezroczystą folię DLC w procesie PECVD, twarde powłoki na narzędziach i folię optyczną z katodą rozpylającą. Opierając się na tej koncepcji projektu pilotażowego, opracowaliśmy 3 inne systemy powłok po tym czasie:
1. Powłoka płytowa Bipolar do pojazdów elektrycznych z ogniwami paliwowymi - FCEV1213,
2. Miedź ceramiczna bezpośrednio powlekana DPC1215,
3. Elastyczny system napylania - RTSP1215.
Te 4 modele maszyn są wyposażone w komorę Octal, elastyczne i niezawodne działanie jest szeroko stosowane w różnych zastosowaniach. Spełnia procesy powlekania, które wymagają wielu różnych warstw metalu: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS i wielu innych niefeeromagnetycznych metali;
plus jednostka źródła jonów, skutecznie zwiększa przyczepność folii do różnych materiałów podłoża dzięki wydajności wytrawiania plazmowego, a proces PECVD do osadzania niektórych warstw na bazie węgla.
Multi950 to kamień milowy zaawansowanych systemów do projektowania powłok dla Royal Tech. W tym miejscu dziękujemy studentom Uniwersytetu w Szanghaju, a szczególnie Procesowi Yigangowi Chenowi, jego twórcze i bezinteresowne poświęcenie jest nieograniczoną wartością i zainspirowało nasz zespół.
W roku 2018 odbyła się kolejna współpraca projektowa z Pressor Chen, składowanie materiału C-60 przez
Indukcyjna metoda parowania termicznego. Serdecznie dziękujemy Panu Yimou Yang i profesorowi Chenowi za prowadzenie i instruktaż na temat każdego innowacyjnego projektu.
Multi950 - Dane techniczne
Opis | Multi-950 |
Komora osadzania (mm) Szerokość x Głębokość x Wysokość | 1050 x 950 x 1350 |
Źródła depozytu | 1 para rozpylanych katod MF |
1 para PECVD | |
8 zestawów katod łukowych | |
Liniowe źródło jonów | 1 zestaw |
Strefa jednorodności plazmy (mm) | 50650 x H750 |
Karuzela | 6 x 300 |
Moce (KW) | Odchylenie: 1 x 36 |
MF: 1 x 36 | |
PECVD: 1 x 36 | |
Łuk: 8 x 5 | |
Źródło jonów: 1 x 5 | |
System kontroli gazu | MFC: 4 + 1 |
System grzewczy | 500 ℃, z regulacją termiczną PID |
Zawór próżniowy wysokiej próżni | 2 |
Pompa turbomolekularna | 2 x 2000L / S |
Roots Pump | 1 x 300L / S |
Obrotowe łopatki pompy | 1 x 90 m³ / h + 1 x 48 m³ / h |
Ślad (dł. X szer. X wys.) Mm | 3000 * 4000 * 3200 |
Moc całkowita (KW) | 150 |
Zespoły serwisowe i inżynieryjne Royal Tech zapewniają obsługę klienta na miejscu, skontaktuj się z nami w sprawie swoich aplikacji!