Cechy sprzętu do powlekania ceramicznego PVD:
1. Komora próżniowa to pionowe jedne otwarte drzwi, 304 producentów ze stali nierdzewnej, wewnętrzna średnica komory próżniowej od φ1400mm-Φ2000mm;
2. System próżniowy z obrotową pompą łopatkową, pompą Rootsa i pompami do dyfuzji oleju lub konstytucją pompy molekularnej;
3. System powlekania wykorzystuje 1-2 magnetyzm o pośredniej częstotliwości do sterowania źródłem zasilania rozpylania, ma 1-2 pary niezrównoważonego magnetyzmu do sterowania celem i ma 14-40 źródeł łuku.
4. Wysokowydajne źródło zasilania impulsowego;
5. System zgazowania wykorzystuje produkowany w kraju lub importowany masowy przepływomierz gazu, miernik kontroli (demonstracyjny) wielkości przepływu gazu;
6. Obwód elektryczny systemu sterowanego elektrycznie jest przeciążony, odcina dopływ wody, wyłącza urządzenie alarmowe akustyczno-optyczne;
7. System sterowania (ekran dotykowy + PLC), szczegółowy parametr wyświetlania w czasie rzeczywistym, całkowicie automatyczna kontrola całego procesu produkcyjnego i parametr technologiczny automatycznej pamięci.
Sprzęt do powlekania PVD — specyfikacje RTAC1618
| MODEL | RTAC1618 | ||
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||
| ROZMIAR KOMORY | Φ1600 * 1800 mm (wys.) | ||
| SYSTEM POMPOWY | Obrotowa tłokowa pompa próżniowa (mechaniczna) | ||
| Obrotowa łopatkowa pompa próżniowa (podtrzymywanie) | |||
| Roots Pompa próżniowa | |||
| Pompa dyfuzyjna | |||
| TECHNOLOGIA | Powlekanie jonowe (źródła wielołukowe) | ||
| TYPOWE CELE | Chrom, Tytan, Cyrkon, TiAl | ||
| GAZ | Przepływomierze masowe gazu (Ar, N2), argon, azot | ||
| KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) | ||
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt | ||
| CHŁODZENIE | Recykling wody chłodzącej | ||
| OGRZEWANIE | Grzałka do 300 ℃ | ||
| MOC MAKS. | 150 kW (w przybliżeniu) | ||
| ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII | 70KW (w przybliżeniu) | ||
Ceramiczne urządzenia do powlekania PVDwykorzystuje technologię powlekania jonowego do odparowywania metali stałych, takich jak tytan, chrom, za pomocą katodowego źródła łuku i kondensacji zjonizowanych metali na powierzchni produktu, aby wygenerować cienką warstwę Nano w środowisku wysokiej próżni.Z reaktywnym gazem takim jak: Azot do generowania różnych kolorów.
Inne niestandardowe rozmiary maszyn są dostępne w oparciu o określone wymiary produktu i zapotrzebowanie na wydajność.
Model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Rozmiar wewnętrzny komory | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Rodzaj zasilania | Zasilanie łuku, zasilacz żarnika, zasilacz impulsu polaryzacji | ||||||||||
| Budowa komory próżniowej | Pionowa konstrukcja drzwi przednich, tylny układ wydechowy i dwuwarstwowa komora chłodzenia wodą | ||||||||||
| Materiał komory próżniowej | stal nierdzewna 304/316L | ||||||||||
| Najwyższa próżnia | 6,0x10-4Pa (rozładunek, czyszczenie, komora suszenia) | ||||||||||
| Prędkość pompowania próżniowego | od atmosfery do 8,0*10-3Pa ≤15 minut | ||||||||||
| System pompowania próżniowego | Pompa dyfuzyjna lub pompa molekularna + pompa Roots + pompa mechaniczna + pompa utrzymująca (konkretny model można wybrać zgodnie z wymaganiami klienta) | ||||||||||
| Źródło łuku | 6 jednostek lub 8 jednostek | 8 jednostek lub 10 jednostek | 10 jednostek lub 12 jednostek | 14 jednostek lub 16 jednostek | 16 jednostek lub 18 jednostek | ||||||
| Zasilanie polaryzacji | 20KW/zestaw | 20KW/zestaw | 30 kW/zestaw | 40 kW/zestaw | 50 kW/zestaw | ||||||
| Model jazdy | Planetarny obrót i obrót, regulacja prędkości o zmiennej częstotliwości (sterowalne i regulowane) | ||||||||||
| System grzewczy | Kontrolowane i regulowane od temperatury pokojowej do 450°C (regulacja temperatury PID) | ||||||||||
| MFC | 3-ścieżkowy lub 4-ścieżkowy system kontroli i wyświetlania przepływu gazu procesowego, selektywny automatyczny system gazowania | ||||||||||
| System chłodzenia | Tryb chłodzenia z obiegiem wody, wieża ciśnień chłodzących lub przemysłowa chłodnica wody lub system głębokiego chłodzenia.(Dostarczane przez klientów) | ||||||||||
| Tryb sterowania | Ręczny/automatyczny tryb integracji, obsługa ekranu dotykowego, sterowanie PLC lub komputerem | ||||||||||
| Całkowita moc | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarm i ochrona | Alarm niedoboru wody, nadmiernego prądu i przepięcia, obwodu otwartego i innych nienormalnych stanów pomp, celów itp. oraz wykonaj odpowiednie środki ochronne i funkcję blokady elektrycznej | ||||||||||
| Obszar wyposażenia | Szer.2.5m * Dł.3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | Szer.4,5m * Dł.6m | Szer.5m * Dł.7m | ||||||
| Inne parametry techniczne | Ciśnienie wody ≥ 0,2 MPa, temperatura wody ≤ 25 ° C, ciśnienie powietrza 0,5-0,8 MPa | ||||||||||
| Uwagi | Specyficzną konfigurację urządzeń do powlekania można zaprojektować zgodnie z wymaganiami procesowymi produktów do powlekania | ||||||||||
Pilniki ceramiczne Próbki powłoki PVD
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
