Model maszyny PVD: RTSP1215-MF został zaprojektowany i opracowany w celu osadzania złotej powłoki TiN na obwodzie miedzianym. Cienka warstewka TiN wytworzona w środowisku o wysokiej próżni, która znacznie zwiększyła jednolitość i czystość.
Cechy konstrukcyjne płytki drukowanej z powłoką miedzianą TiN PVD:
1. Komora 8-stronna z kołnierzami montażowymi o jednakowej wielkości, które mogą składać i wymieniać źródła jonowe i katody rozpylające lub katody łukowe elastycznie w zależności od zapotrzebowania procesów lakierowania.
2. Zwarta konstrukcja, która zajmuje tylko 20 m2;
3. Źródło jonów do wstępnej obróbki plazmowej i osadzania wspomaganego jonowo w celu zwiększenia przyczepności filmu.
4. Pakiet wysokiej prędkości pompowania i stabilna konfiguracja, pompy molekularne z zawieszeniem magnetycznym mogą być montowane w dowolnym kierunku.
Specyfikacja maszyn powlekanych z powłoką miedzianą TiN PVD
Wydajność
1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 - 6 Torr.
2. Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10 - 4 Torr.
3. Czas pompowania: od 1 atmosfery do 1,0 × 10 - 4 Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowanie łuku): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itd.
5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie
Struktura
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
2. Rouling System pompowania próżniowego (pakiet pompy podpierającej)
3. Układ wysokiego podciśnienia (magnetycznie zawieszona pompa molekularna)
4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny
5. System urządzeń wspomagających (system podrzędny)
6. System osadzania
Dane techniczne RTSP1215-MF | |||||||
MODEL | RTSP1215-MF | ||||||
TECHNOLOGIA | Rozpylanie magnetronowe (MF) | ||||||
MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||||||
ROZMIAR KOMORY | Φ1200 * H1500mm | ||||||
TYP KOMORY | 8-stronny, pionowy, 1-drzwiowy | ||||||
SYSTEM SPUTTERING | 4 zestawy katod katodowych | ||||||
MATERIAŁ DEPOSITION | Aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna, nikiel, tytan, TiN | ||||||
ŹRÓDŁO USUWANIA | 4 katody z rozpylaniem planarnym + źródło jonów do czyszczenia plazmowego | ||||||
GAZ | MFC-2 sposoby, Ar, N2 | ||||||
KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + Ekran dotykowy | ||||||
SYSTEM POMPY | SV300B - zestaw 1 (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 zestawy (Leybold) | |||||||
Zestaw D60T-1 (Leybold) | |||||||
MGK3304 - 2 zestawy (Osaka) | |||||||
WSTĘPNE ZABIEGI | Napięcie polaryzacji: 1 * 36 KW | ||||||
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt | ||||||
CHŁODZENIE | Zimna woda | ||||||
POWER ELECTRICAL | 480 V / 3 fazy / 60 Hz (zgodność z USA) | ||||||
460 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z azjatycką) | |||||||
380 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z UE-CE) | |||||||
ŚLAD STOPY | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
WAGA CAŁKOWITA | 7,0 T | ||||||
ŚLAD STOPY | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
CZAS CYKLU | 30 ~ 40 minut (w zależności od materiału podłoża, geometria podłoża i warunki środowiskowe) | ||||||
POWER MAX .. | 110KW | ||||||
ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII (OK.) | 50 KW |
Płytka z pokryciem z miedzi TiN PVD
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.