Dostosowanie w celu zaspokojenia specjalnych wymagań
Standaryzacja w celu obniżenia kosztów produkcji
-- Skupiamy się na aplikacjach Więcej
 
2-MultiTech- DLC IPG czarne powłoki foliowe.pdfproszę pobrać broszurę tutaj, aby uzyskać więcej informacji
 

Co to jest rozpylanie MF?

W porównaniu z napylaniem DC i RF, napylanie o średniej częstotliwości stało się główną techniką napylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłok, szczególnie do osadzania warstw dielektrycznych i nieprzewodzących powłok na powierzchniach, takich jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wiele warstw , folia z materiałów kompozytowych itp.
Zastępuje napylanie RF, ponieważ działa z częstotliwością kHz, a nie MHz, co zapewnia znacznie większą szybkość osadzania, a także może uniknąć zatrucia celu podczas osadzania złożonej cienkiej warstwy, takiej jak DC.

Cele rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami.Stosowane są dwie katody z prądem przemiennym przełączanym między nimi, który czyści powierzchnię docelową przy każdym odwróceniu, aby zmniejszyć nagromadzenie ładunku na dielektrykach, co prowadzi do wyładowania łukowego, które może wyrzucać krople do plazmy i zapobiegać jednolitemu wzrostowi cienkiej warstwy --- czyli to, co nazwaliśmy zatruciem docelowym.
 

Źródła osadzania
Sterowane źródła łuku kołowego do odparowywania tarczy z litego metalu;
2/4/6 par katod do napylania cylindrycznego MF do osadzania cienkich warstw grafitu;
Zasilacz polaryzacji do bombardowania jonami w celu utworzenia obszaru plazmy do obróbki wstępnej;
Jednostka liniowego źródła jonów anodowych (opcjonalnie) Przetwarzanie PACVD i PECVD;
Kriopump (Polycold) do kondensacji molekularnej wody (opcjonalnie)

Inne moduły
1. Komora próżniowa
2. System pompowania próżniowego zgrubnego (pakiet pompy pomocniczej)
3. System pompowania wysokiego podciśnienia (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi
5. System obiektów pomocniczych (podsystem)
6. System osadzania: katoda rozpylająca MF, zasilacz MF, źródło jonów zasilania polaryzacyjnego dla opcjonalnego

Wydajność maszyny do powlekania

1. Najwyższe ciśnienie próżniowe: lepsze niż 5,0 × 10-6Torr.
2. Ciśnienie robocze podciśnienia: 1,0 × 10-4Torr.
3. Czas odpompowania: od 1 atm do 1,0×10-4Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał do metalizacji (rozpylanie + odparowanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC itp.
5. Model operacyjny: w pełni automatycznie/półautomatycznie/ręcznie

 
Te konfiguracje są standardowe, dla konkretnego rozwijającego się rynku i nowych specjalnych powłok, niestandardowe konfiguracje i modyfikacje są dostępne na żądanie.
 
 
 
Uruchomienie programu instalacji systemu próżniowego
 

 
 
 
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.