Sprzęt do osadzania rozpylanego złota Au, maszyna do osadzania PVD Silve / Gold, system rozpylania PVD z filmem przewodzącym
Podsumowanie: Proces DPC - Direct Plating Copper to zaawansowana technologia powlekania stosowana w przemyśle LED / półprzewodników / elektroniki. Jednym z typowych zastosowań jest ceramiczne podłoże promieniujące. Osadzanie Cooper na błonie przewodzącej na tlenku glinu (Al2O3), podłożach AlN metodą próżniowego rozpylania PVD, w porównaniu z tradycyjną produkcją
metody: DBC LTCC HTCC, jego cechą jest znacznie niższy koszt produkcji.
Zespół technologii Royal pomógł naszemu klientowi w pomyślnym opracowaniu procesu DPC dzięki technologii rozpylania PVD.
Słowa kluczowe: ceramiczne elementy uszczelniające, proces DPC, system rozpylania miedzi PVD, wióry ceramiczne LED z poszyciem Cooper, Al 2 O 3 , płytki ceramiczne AlN, płytki Al2O3 na LED, półprzewodnik
Zastosowania DPC:
· HBLED
· Substraty do ogniw koncentratora słonecznego
· Opakowanie półprzewodników mocy, w tym sterowanie silnikami samochodowymi
· Hybrydowa i elektryczna elektronika zarządzania energią samochodową
· Pakiety dla RF
· Urządzenia mikrofalowe
Wydajność technologii DPC
Różne materiały podłoża: ceramiczny (Al3O2, AlN), szkło i Si
Funkcje:
Specyfikacja techniczna
1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 9,0 * 10 - 5 Pa;
3. Czas pompowania: od atm do 1,0 × 10-3 Pa ≤ 15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło osadzania: katody do rozpylania magnetronowego Gencoa, katody sterowane łukiem, źródło jonów
5. Model operacyjny: pełny automatycznie / półautomatycznie / ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do maks. 500 ℃,
9. Źródło jonów dla procesu PECVD i PA PVD.
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna: 1200 mm
Wysokość wewnętrzna: 1500 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z pomalowaną powierzchnią wykończeniową.
Podwozie komorowe SS41 stal miękka z malowaną powłoką wykończeniową.
1.3 Osłona komory: SUS304
1.4 Widok okna: 2 na drzwiach
1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: materiał SUS304
2. Układ pompowania próżniowego :
Olejowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa + pompa trzymająca
3. System pompowania w wysokiej próżni : Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym - 2 zestawy
4. System sterowania i obsługi elektrycznej - System operacyjny PLC + ekran dotykowy:
Dostawcy:
PLC: Mitsubishi + ekran dotykowy (Made in China)
Komponenty elektroniczne: SCHNEIDER, OMRON.
System ochrony bezpieczeństwa: Liczne blokady bezpieczeństwa do ochrony operatorów i sprzętu (woda, prąd, temperatura itp.)
System procesów powlekania : Automatyzacja i kontrola procesów.
4.1 Obwód główny: Wyłącznik bezpiecznikowy bez bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T szeregowo
4.2 Zasilanie: Moc rozpylania DC / MF + Moc łuku DC + Zasilacz polaryzacji
4.3 System kontroli osadzania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczna ewakuacja, automatyczne powlekanie
4.5 Układ pomiarowy
Ciśnienie podciśnienia: Manometr: Pirani + Penning + Manometr próżniowy pełnego zakresu - marka europejska
Miernik temperatury: para termiczna
MFC: Kontroler przepływu masy (4 sposoby),
4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 System osadzania
5.1 Źródło osadzania: Katody rozpylające + źródła łuku + źródło jonów
5.2 Materiał do osadzania: miedź, aluminium, chrom, srebro, złoto, SS, tytan itp.
6. Podsystem
6.1 Układ sterowania zaworem sprężonym powietrzem
6.2 System wody chłodzącej: Rura przepływowa i system zaworów przełączających
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8 kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, średni pobór mocy: 60 kW
Obszar instalacji: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 mm
Wydech: Odpowietrzenie dla pomp mechanicznych
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.