DPC ceramiczne promieniowanie podłoża próżniowe PVD

Proces DPC- Direct Plating Copper jest zaawansowaną technologią powłoki stosowaną w przemyśle LED / półprzewodników / elektroniki.

Depozycja folii przewodzącej kupra na podłogach Al2O3, AlN, Si, szkła za pomocą technologii plamkowania próżniowego PVD w porównaniu z tradycyjnymi metodami produkcji: DBC LTCC HTCC, cechy:

1Znacznie niższe koszty produkcji.

2Wyjątkowe zarządzanie cieplne i transfer ciepła

3Dokładne wyrównanie i projektowanie wzorów,

4Wysoka gęstość obwodów

5. Dobra przyczepność i łatwość spawania

Zespół Royal Technology pomógł naszemu klientowi opracować proces DPC z powodzeniem za pomocą technologii rozpylania PVD.
Ze względu na zaawansowaną wydajność substratów DPC jest szeroko stosowany w różnych zastosowaniach:

Wysokiej jasności LED zwiększyć długość życia z powodu jego wysokiejpromieniowanie cieplnewydajność, sprzęt półprzewodnikowy, komunikacja bezprzewodowa mikrofalowa, elektronika wojskowa, różne podłoża czujników, lotnictwo kosmiczne, transport kolejowy, energia elektryczna itp.

Sprzęt RTAC1215-SP został zaprojektowany wyłącznie do procesu DPC, który pozwala uzyskać warstwę kupera na podłożu.z technikiami polio-ionowego pokrywania wielołokowego i magnetronowego rozpylania w celu uzyskania idealnej folii o wysokiej gęstościJest to kluczowy krok w procesie odpoczynku DPC.

Główne cechy maszyny do powlekania miedzią

1Wyposażony w 8 katod łukowych i katod rozpylających DC, katody rozpylające MF, jednostkę źródła jonowego.

2. Dostępne powłoki wielowarstwowe i ko-depozycyjne

3Źródło jonowe do oczyszczania plazmy przed obróbką i osadzenie z pomocą wiązki jonowej w celu zwiększenia przyczepności folii.

4. jednostka podgrzewająca substraty ceramiczne/Al2O3/AlN;

5System obrotu i rewolucji podłoża, do powlekania z jednej i dwóch stron.

Specyfikacje maszyny do powlekania miedzią

Wydajność

1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10^-6Torr.

2Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10^-4Torr.

3. Czas odpompowania: od 1 atm do 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, komora sucha, czysta i pusta)

4Materiał metalizujący (spruttering + odparowanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itp.

5Model działania: pełna automatyczna / półautomatyczna / ręczna

Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy komplet systemu wymieniony poniżej:

1Komora próżniowa

2. System pompowania próżniowego (zestaw pomp oporowych)

3. System pompowania pod wysoką próżnią (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)

4. Elektryczny system sterowania i obsługi

5System urządzeń pomocniczych (podsystem)

6System depozytowania

Próbki

Proszę skontaktować się z nami, aby uzyskać więcej informacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu całkowite rozwiązania powłoki.