Słowa kluczowe: Bezpośrednio powlekane produkty aluminiowe, proces PECVD, folia DLC, diamentowa folia węglowa, rozpylająca folia optyczna, katoda rozpylająca Gencoa Magnetron, źródło jonów, PA PVD
Funkcje projektowe RTAC950-SP:
Specyfikacja techniczna
1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 8,0 * 10 - 4 Pa;
3. Czas pompowania: od atm do 1,0 × 10–3 Pa ≤ 15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło osadzania: katody do rozpylania magnetronowego Gencoa, katody sterowane łukiem, źródło jonów
5. Model operacyjny: pełny automatycznie / półautomatycznie / ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do maks. 500 ℃,
9. Źródło jonów dla procesu PECVD i PA PVD.
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: głębokość wewnętrzna 950 mm
Wysokość wewnętrzna: 1350 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z malowaną powłoką wykończeniową.
Podwozie komorowe Stal miękka SS41 z lakierowaną powłoką wykończeniową.
1.3 Osłona komory: SUS304
1.4 Widok okna: na drzwiach komory -2
1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: 2 zestawy, przód i tył, materiał SUS304
2. System pompowania próżniowego zgrubnego:
Olejowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa + pompa trzymająca
3. System pompowania w wysokiej próżni:
Turbo Pompa molekularna - 2 zestawy
4. Elektryczny system sterowania i obsługi - PLC + ekran dotykowy System operacyjny:
Dostawcy:
PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERIES
Elementy elektroniczne: SCHNEIDER, OMRON.
System ochrony bezpieczeństwa: Liczne blokady bezpieczeństwa do ochrony operatorów i sprzętu (woda, prąd, temperatura itp.)
System procesów powlekania : Automatyzacja i kontrola procesów. Automatycznie zapisywane w pamięci na 3 miesiące. Wybrane dane dotyczące receptur powłok: docelowy prąd / napięcie robocze, przepływ masy, ciśnienie próżniowe, temperatura, czasy powlekania są zapisywane do analizy w celu poprawy jakości powłok.
4.1 Obwód główny: Wyłącznik bezpiecznikowy bez bezpiecznika, wyłącznik elektromagnetyczny, C / T szeregowo
4.2 Zasilanie: Moc rozpylania MF + Moc łuku stałego + Zasilacz polaryzacji
4.3 System kontroli osadzania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczna ewakuacja, automatyczne powlekanie
4.5 Układ pomiarowy
Ciśnienie podciśnienia: Manometr: Pirani + Penning + Manometr próżniowy pełnego zakresu - marka europejska
Miernik temperatury: termopara
MFC: Kontroler przepływu masy (4 sposoby),
4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 System osadzania
5.1 Źródło osadzania: Katody rozpylające + źródła łuku + źródło jonów
5.2 Materiał do osadzania: ITO, tytan, chrom, aluminium, stal nierdzewna, TiAl itp.
6. Podsystem
6.1 Układ sterowania zaworem sprężonym powietrzem
6.2 System wody chłodzącej: Rura przepływowa i system zaworów przełączających
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8 kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura dopływu wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, średni pobór mocy: 60 kW
Obszar instalacji: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 mm
Wydech: Odpowietrzenie dla pomp mechanicznych
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
