Tantal ((Ta) Magnetron Sputtering Deposition System-RT1000-Ta

Magnetron Sputtering jest szeroko stosowany do odkładania ogniotrwałych metali, takich jak tantal, tytan, wolfram,Niobium, które wymagałoby bardzo wysokich temperatur osadzenia, oraz metale szlachetne: złoto i srebro, które są również wykorzystywane do osadzania metali o niższych punktach topnienia, takich jak miedź, aluminium, nikl, chrom itp.

Tantal jest najczęściej stosowany w elektronikach.przemysłjako powłoka ochronna ze względu na dobrą odporność na erozję.

Zastosowania cienkiej folii tantalu rozpylanego:
1Przemysł mikroelektroniczny, ponieważ folie mogą być reaktywnie rozpylane, a tym samym odporność i współczynnik temperatury oporu mogą być kontrolowane;

2. Instrumenty medyczne, takie jak implanty ciała ze względu na wysoką właściwość biokompatybilności;
3. powłoki na częściach odpornych na korozję, takich jak termopłyty, korpusy zaworów i elementy mocujące;
4. Tantal rozpylanego można również stosować jako skuteczną barierę odporną na korozję, jeśli powłoka jest ciągła, uszkodzona i przylegająca do podłoża, jest przeznaczona do ochrony.

Zalety techniczne

1. Wykorzystuje się standaryzowany wózek, który umożliwia łatwe i bezpieczne ładowanie/wyładowanie uchwytów podłoża i części roboczych do komory osadzenia i z niej wyprowadzenia
2. System jest zabezpieczony, aby zapobiec nieprawidłowej pracy lub niebezpiecznym praktykom
3. Podgrzewacze podłoża są montowane w środku komory, sterowane przez PID termopar dla wysokiej dokładności, aby zwiększyć przyczepność filmu kondensacyjnego
4. Silne konfiguracje pomp próżniowych z magnetycznie zawieszoną pompą molekularną za pomocą zaworu bramowego podłączonego do komory; wspierane przez pompę korzeniową Leybold'a i dwustopniową pompę obrotową, pompę mechaniczną.
5. W tym systemie stosowane jest źródło plazmy zjonizowanej o wysokiej energii w celu zagwarantowania jednolitości i gęstości.
   
   
   

Standaryzowany system osadzenia tantalu przez Royal Technology:

Wnętrze:

Czas budowy: 2018

Miejsce: Chiny

Prosimy o kontakt z nami w celu uzyskania więcej informacji o zastosowaniach i specyfikacjach.