Zastosowania do powlekania folii niskoemisyjnej: papier elektroniczny, obwody elastyczne, fotowoltaika, paski medyczne, RFID (identyfikacja radiowa) i folia niskoemisyjna.

 

FILMY DEPOZYTOWE
1. Materiał podłoża: PET, PEN, PES, PI, PC, PA, ... Folie
2. Grubość podłoża: 15 ~ 300 μm
3. Metody osadzania: AC Reactive for SiO2 (dielectric);Impulsowy prąd stały dla ITO (metal i przewodnik)
4. Przewodnik tlenkowy TCO: ITO, AZO, IZO ...
5. Przewodnik metalowy: Al, Cu, Mo, Ag ...
6. Folia optyczna: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2 ...
7. Półprzewodniki: ZnO, InGaZnO ...
8. Izolator: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx ...
9. Jednolitość: ± 5% w całej sieci

MultiWeb Coater zapewnia następujące kluczowe funkcje:
A. Jedna komora podzielona na strefy wielociśnieniowe, aby pomieścić różne źródła osadzania.
B. Możliwość jednoczesnego osadzania wielu źródeł w jednym przejściu wstęgi, dla powlekania wielowarstwowego.
C. Odwracalny kierunek nawijania wstęgi umożliwia nakładanie nieograniczonej liczby warstw bez przerywania próżni.
D. Precyzyjne mechanizmy do przenoszenia wstęgi z prowadnicą krawędziową, aby umożliwić wiele przejść bez utraty wyrównania.(Opcjonalny)
E. System napędu wstęgi AC Invert do dokładnego sterowania wieloma prędkościami wstęgi.
F. Wbudowane optyczne i / lub rezystancyjne systemy monitorowania grubości w celu precyzyjnej kontroli grubości i jednorodności osadzania.(Opcjonalny)
G. Komora jest zbudowana ze stali nierdzewnej SUS304L z komponentami odgazowującymi o niskim poziomie emisji, aby zapewnić głębszą próżnię.
H. Pompowanie próżniowe za pomocą połączenia pompy turbomolekularnej i niskotemperaturowych urządzeń kriogenicznych w celu zapewnienia czystej próżni bez wilgoci lub zanieczyszczenia olejem.