Eksperymentalny rozpylacz magnetronowy, pionowy przenośny system rozpylania magnetronowego o małych rozmiarach

Eksperymentalna powłoka napylania magnetronowego / pionowa przenośna maszyna do powlekania o małych rozmiarach

Royal Technology zaprojektowała i dostarczyła różne systemy powłok Ultra-High-Vacuum do nauczania w college'u i badań naukowych i rozwoju, do badania różnych różnych wzrostu filmu, generuje bardziej innowacyjne cienkie folie NANO stosowane w naszych komercyjnych gałęziach przemysłu. Nasi klienci: Uniwersytet Chiński w Szanghaju, Uniwersytet Machanster w Wielkiej Brytanii, Uniwersytet Naukowy w Pekinie itp.

Eksperymentalne urządzenia do odparowywania próżniowego z termoizolacją: z powłoką odpornego na odparowanie termiczne i techniką odparowania z pistoletu elektronowego, w celu wytworzenia przewodzących błon, cienkiej warstwy półprzewodnika, optycznej cienkiej warstwy i skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM). Opcjonalne urządzenia, takie jak: źródło jonów lub źródła jonów halowych do wstępnego oczyszczania plazmowego, osadzanie wspomagane plazmą może generować wysokiej jakości folie metalowe, folie kompozytowe, folie organiczne itp. W pełni zaspokoić zapotrzebowanie na badania i rozwój. Jego elastyczny projekt i wiele źródeł osadzania są mile widziane przez naukowców.

Experimetal Rozpylanie magnetronowe Jednostki powlekania próżniowego: katody napylające DC, MF, RF do celów R & D mogą otrzymać monowarstwę, folię dielektryczną, folię złożoną, półprzewodnik, wiele warstw, folię kompozytową i folie dielektryczne itp.

Eksperymentalne napylanie magnetronowe Jednostki powlekania próżniowego Parametry techniczne:

1 Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10-6 Torr.

2. Działające ciśnienie próżni: 1,0 × 10-4 Torr.

3. Czas pompowania: od 1 atmosfery do 1,0 × 10-4 Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta)

4. Materiał metalizujący (napylanie) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... itd.

5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie

Experimetal Rozpylanie magnetronowe Jednostki powlekania próżniowego

1. Komora próżniowa

2. Rouling System pompowania próżniowego (pakiet pompy podpierającej)

3. Układ wysokiego podciśnienia (pompa dyfuzyjna)

4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny

5. System urządzeń wspomagających (system podrzędny)

6. System osadzania

Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.