![]() |
Nazwa marki: | ROYAL |
Numer modelu: | RTSP1212-MF |
MOQ: | 1 zestaw |
Cena £: | negocjowalne |
Warunki płatności: | L/C, D/A, D/P, T/T |
Zdolność do zaopatrzenia: | 6 zestawów miesięcznie |
Maszyna do napylania rozpylanego magnetronu o średniej częstotliwości / system napylania MF
Powlekanie próżniowe metodą magnetronową jest rodzajem mentodowania powierzchniowego PVD. Może być stosowany do produkcji folii przewodzących lub nieprzewodzących, na wielu rodzajach materiałów: metali, szkła, ceramiki, tworzyw sztucznych, stopów metali. Koncepcja osadzania przez napylanie: materiał powlekający (cel, również nazywana katodą) i detale (substraty, zwane również anodą) są umieszczane w komorze próżniowej i ciśnienie jest zmniejszane. Rozpylanie jest inicjowane przez umieszczenie celu pod napięciem i wprowadzenie gazu argonowego, który tworzy jony argonu (wyładowanie jarzeniowe). Jony argonu przyspieszają w kierunku celu procesu i zastępują atomy docelowe. Atomy rozpylania są następnie skraplane na podłożu i tworzą bardzo cienką i wysoką warstwę jednorodności. Różne barwy można osiągnąć przez wprowadzenie gazów reaktywnych, takich jak azot, tlenek lub acetylen do gazy jonowej podczas procesu powlekania.
Rozpylanie magnetronowe: rozpylanie DC, rozpylanie MF, rozpylanie RF
Co to jest rozpylanie MF?
W porównaniu z rozpylaniem DC i RF, rozpylanie o średniej częstotliwości stało się główną techniką rozpylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłoki, w szczególności do nakładania powłok dielektrycznych i nieprzewodzących powłok filmowych na powierzchnie, takie jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wiele warstw folia z materiału kompozytowego itp.
Zastępuje ona rozpylanie z częstotliwością radiową, ponieważ działa z częstotliwością kHz, a nie z częstotliwością MHz, w celu uzyskania znacznie szybszego osadzania, a także może uniknąć zatrucia docelowego podczas nakładania cienkich warstw, jak DC.
Tarcze rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami. Stosuje się dwie katody z przełączanym prądem przemiennym pomiędzy nimi, który oczyszcza powierzchnię docelową za każdym odwróceniem, aby zmniejszyć wzrost ładunku na dielektrykach, co prowadzi do wyładowań łukowych, które mogą wyrzucać kropelki do plazmy i zapobiegać jednorodnemu wzrostowi cienkiej warstwy --- to właśnie nazywamy zatruciem docelowym.
Wydajność systemu rozpylania MF
1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 - 6 Torr.
2. Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10 - 4 Torr.
3. Czas pompowania: od 1 atmosfery do 1,0 × 10 - 4 Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowywanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, itp.
5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie
Struktura systemu rozpylania MF
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
2. Rouling System pompowania próżniowego (pakiet pompy podpierającej)
3. Układ wysokiego podciśnienia (magnetycznie zawieszona pompa molekularna)
4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny
5. System urządzeń wspomagających (system podrzędny)
6. System osadzania: katoda napylająca MF, zasilanie MF, źródło odchylenia źródła jonów jako opcja
MF Sputtering System RTSP1212-MF Dane techniczne
MODEL | RTSP1212-MF | ||||||
TECHNOLOGIA | MF Rozpylanie magnetronowe + jonowanie | ||||||
MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||||||
ROZMIAR KOMORY | Φ1250 * H1250mm | ||||||
TYP KOMORY | Cylinder, pionowy, 1-drzwiowy | ||||||
SYSTEM SPUTTERING | Wykonany wyłącznie z cienkiej czarnej powłoki | ||||||
MATERIAŁ DEPOSITION | Aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna, Nikiel | ||||||
ŹRÓDŁO USUWANIA | 2 zestawy celów napylania cylindrycznego MF + 8 sterowanych źródeł łuku katodowego | ||||||
GAZ | MFC-4 sposoby, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + | ||||||
SYSTEM POMPY | SV300B - zestaw 1 (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 zestawy (Leybold) | |||||||
D60T- 2sets (Leybold) | |||||||
Turbo Pompy Molekularne: 2 * F-400/3500 | |||||||
WSTĘPNE ZABIEGI | Napięcie polaryzacji: 1 * 36 KW | ||||||
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów | ||||||
CHŁODZENIE | Zimna woda | ||||||
POWER ELECTRICAL | 480 V / 3 fazy / 60 Hz (zgodność z USA) | ||||||
460 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z azjatycką) | |||||||
380 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z UE-CE) | |||||||
ŚLAD STOPY | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
WAGA CAŁKOWITA | 7,0 T | ||||||
ŚLAD STOPY | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
CZAS CYKLU | 30 ~ 40 minut (w zależności od materiału podłoża, geometria podłoża i warunki środowiskowe) | ||||||
POWER MAX .. | 155 KW | ||||||
ŚREDNIA MOC ZUŻYCIE (OK.) | 75 kW |
Mamy więcej modeli do wyboru!
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.