![]() |
Nazwa marki: | ROYAL |
Numer modelu: | RTAS1250 |
MOQ: | 1 zestaw |
Cena £: | negocjowalne |
Warunki płatności: | L/C, D/A, D/P, T/T |
Zdolność do zaopatrzenia: | 6 zestawów miesięcznie |
Grafitowa maszyna do powlekania próżniowego PVD / Jet Black Ozdobne wykończenia kolorowe PVD
Konstrukcja maszyny do powlekania próżniowego grafitem PVD:
Źródła osadzania
Sterowane źródła łuku kołowego do odparowywania tarczy z litego metalu;
2 pary nieblanowanych katod rozpylających MF do osadzania grafitowej cienkiej warstwy;
Odchylenie zasilacza do bombardowania jonowego w celu utworzenia obszaru plazmy do obróbki wstępnej;
Anodowy moduł źródła jonów liniowych (dla opcjonalnych) Przetwarzanie PACVD i PECVD;
Cryopump (Polycold) do kondensacji molekularnej wody (opcjonalnie)
Inne moduły
1. Komora próżniowa
2. Układ pompowania próżniowego Rouhging (pakiet pompy uzupełniającej)
3. System pompowania w wysokiej próżni (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi
5. System urządzeń pomocniczych (podsystem)
6. System osadzania: katoda rozpylająca MF, zasilacz MF, zasilacz Bias Źródło jonów dla opcjonalnego
Wydajność maszyny do powlekania próżniowego grafitem PVD
1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 - 6 Torr.
2. Ciśnienie robocze próżni: 1,0 × 10–4 tor.
3. Czas wypompowywania: od 1 atm do 1,0 × 10–4 Torr ≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowanie łuku): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC itp.
5. Model operacyjny: pełny automatycznie / półautomatycznie / ręcznie
Co to jest MF Sputtering?
W porównaniu z napylaniem DC i RF napylanie średniej częstotliwości stało się główną techniką napylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłok, w szczególności do nakładania powłok dielektrycznych i nieprzewodzących powłok foliowych na powierzchniach takich jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wielowarstwowe , folia z materiału kompozytowego itp.
Zastępuje rozpylanie fal radiowych, ponieważ działa z częstotliwością kHz zamiast MHz, co zapewnia znacznie większą szybkość osadzania, a także może uniknąć zatrucia docelowego podczas osadzania złożonego cienkiego filmu, takiego jak DC.
Cele rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami. Stosuje się dwie katody z prądem przemiennym przełączanym w obie strony, który czyści powierzchnię docelową przy każdym odwróceniu, aby zmniejszyć nagromadzenie ładunku na dielektrykach, co prowadzi do wyładowań łukowych, które mogą wyrzucać kropelki do plazmy i zapobiegać jednorodnemu wzrostowi cienkich warstw --- co nazywamy zatruciem docelowym.
Rozmiary systemu rozpylania metalowego grafitu MF:
Rozmiar komory wewnętrznej: Dia 1200 mm ~ 1600 mm
Wysokość wewnętrzna komory: 1250 mm ~ 1300 mm
Dostępne są również niestandardowe rozmiary maszyn oparte na specyficznym zapotrzebowaniu na produkty 3D.
MF System rozpylania RTAC1250-SPMF Dane techniczne
MODEL | RTAC1250-SPMF | ||||||
TECHNOLOGIA | Napylanie magnetronowe MF + powlekanie jonowe | ||||||
MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||||||
ROZMIAR KOMORY | Φ1250 * H1250 mm | ||||||
TYP KOMORU | Cylinder, pionowy, 1-drzwiowy | ||||||
SYSTEM SPUTTERINGU | Wyłącznie zaprojektowany do osadzania cienkiej czarnej folii | ||||||
MATERIAŁ DEPOZYCJI | Aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna, Nikiel | ||||||
ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | 2 zestawy MF Cylindryczne cele rozpylające + 8 sterowanych źródeł łuku katodowego + źródło jonów Dla opcjonalnego | ||||||
GAZ | MFC-4 sposoby, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + | ||||||
SYSTEM POMPY | SV300B - 1 zestaw (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 zestawy (Leybold) | |||||||
D60T- 1 zestaw (Leybold) | |||||||
Turbo Cząsteczkowe Pompy: 2 * F-400/3500 | |||||||
OBRÓBKA WSTĘPNA | Napięcie wstępne: 1 * 36 KW | ||||||
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów | ||||||
CHŁODZENIE | Zimna woda | ||||||
MOC ELEKTRYCZNA | 480 V / 3 fazy / 60 Hz (zgodność z USA) | ||||||
460 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z Azją) | |||||||
380 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodny z UE-CE) | |||||||
ŚLAD STOPY | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
WAGA CAŁKOWITA | 7,0 t | ||||||
ŚLAD STOPY | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 MM | ||||||
CZAS CYKLU | 30 ~ 40 minut (w zależności od materiału podłoża, geometria podłoża i warunki otoczenia) | ||||||
POWER MAX .. | 155 KW | ||||||
ŚREDNIA MOC ZUŻYCIE (OKOŁO) | 75 KW |
Grafitowa maszyna do powlekania próżniowego PVD to zintegrowana maszyna z wieloma źródłami osadzania ogólnego grafitu, kruczoczarnej, niebieskiego koloru itp. Dekoracji na częściach metalowych, przedmiotach ze stali nierdzewnej. Szczególnie stosowany do luksusowych produktów wysokiej klasy, takich jak: elektronika: smartfon, aparat fotograficzny, laptop, golf, łyżka, widelce, nóż, klamka, krany; biżuteria z pierścionków, naszyjników, kolczyków, bransoletek, zegarków itp.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.