System osadzania cienkich warstw PVD Napylanie próżniowe i termiczne odparowywanie próżniowe powlekanie Wysokowydajna maszyna do powlekania PVD

PVD Thin Film System napylania i termicznego odparowywania próżniowego

System osadzania cienkich warstw PVD, sputtering i termiczne odparowywanie próżniowe

PVD Thin Film Deposition System zawiera źródła osadzania źródła wolframu do wypalania żarnika i źródła rozpylania magnetronowego DC (katody rozpylające z RF są opcjonalne). To urządzenie jest używane głównie do osadzania cienkich warstw na częściach z tworzyw sztucznych, szkle, metalu lub foliach z materiałami osadzającymi, takimi jak: czysty metal Al, Cr, Cu, Ag, Au, Ti itp. Źródła odparowywania zasadniczo w celu uzyskania cienkich warstw o ​​wysokim współczynniku odbicia na produktach powierzchnie lub folie przewodzące, lub dać metaliczny obraz perspektywiczny. Poza tym źródła rozpylania kondensują szeroki zakres materiałów półprzewodnikowych i dielektryków, w tym przezroczyste tlenki przewodzące itp.

PVD Thin Film Deposition Konfiguracje systemu:

Wydajność

1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 ^-6 Torr.

2. Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10 ^-4 Torr.

3. Pompowanie w dół Czas od 1 atmosfery do 1,0 × 10 ^-4 Torr≤3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Materiał metalizujący (parowanie): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... itd.

5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie

l Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 1600 mm

Wewnętrzna wysokość 1600 mm

1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304 (opcja ze stali miękkiej SS41)

Drzwi i kołnierze SUS304 (opcja ze stali miękkiej SS41)

Struktura wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.

Podwozie komorowe SS41 ze stali miękkiej z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.

1.3 Tarcza: SUS304

  1.4 Okno widoku: na drzwiach komory

1.5 Komora próżniowa wentylacyjna, w tym tłumik

1.6 Materiał drzwi SUS304

2. Rouging System pompowania próżniowego

3. Wysokie próżniowe układy pompowania

4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny - PLC + ekran dotykowy

4.1 Obwód główny: brak bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T w typoszeregu

4.2 Moc parowania: 35 kVA

4.3 System kontroli parowania

4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie

4.5 System pomiaru ciśnienia próżniowego

Wskaźnik próżni: wskaźnik Pirani + Penning

Wskaźnik termoelektryczny: 760 Torr ~ 5 * 10 ^-4 Torr

4.6 System alarmowy: Ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, niewłaściwe działanie

4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia

5. System osadzania

5.1 Źródło parowania wolframu

5.2 Materiały do ​​termicznego odparowania: druty, pierścienie, pręty itp.

5.3 Źródła napylania (napędzane prądem stałym / MF)

6. Podsystem

6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza

6.2 System wody chłodzącej System - rura zasilania i system zaworu przełączającego

Dowiedz się więcej o maszynie i dostępnych aplikacjach, skontaktuj się z nami teraz.