Czym jest PVD lub metalizacja próżniowa?
Proces nanoszenia cienkowarstwowej powłoki metalicznej za pomocą PVD polega na umieszczeniu części w zamkniętej komorze próżniowej i przyłożeniu prądu elektrycznego i napięcia lub bombardowaniu gazem obojętnym w celu zjonizowania materiału docelowego (którym może być czysty metal lub stop ). Po zjonizowaniu materiału docelowego w postaci pary jest on osadzany na powierzchni części. Istnieje kilka trzech popularnych typów powłok PVD: parowanie próżniowe i napylanie oraz osadzanie z pary łukowej (lub łuk katodowy)
Odkładanie jonowe
Rozpylanie jest procesem osadzania metalu, w którym materiał docelowy nie jest odparowywany przy użyciu ciepła, ale jego atomy metalu są fizycznie usuwane z celu poprzez zderzenie bombardującej cząstki. Odległość od celu do części w komorze napylającej jest znacznie krótsza niż w przypadku osadzania próżniowego. Rozpylanie odbywa się również przy znacznie wyższej próżni. Samo źródło rozpylania może być wykonane z elementów, stopów, mieszanin lub związków. Ta forma osadzania metalu jest powszechnie stosowana w produkcji półprzewodników, na szkle architektonicznym, powłokach odblaskowych, płytach CD z dyskami kompaktowymi i powłokach dekoracyjnych.
Odkładanie z pary łukowej
Odkładanie łuku katodowego lub Arc-PVD jest techniką fizycznego osadzania z fazy gazowej, w której łuk elektryczny jest używany do odparowania materiału z tarczy katodowej. Odparowany materiał następnie skrapla się na podłożu, tworząc cienki film. Technika ta może być stosowana do nakładania folii metalicznych, ceramicznych i kompozytowych. Proces odparowywania łuku rozpoczyna się od uderzenia łuku o wysokim natężeniu i niskim napięciu na powierzchni katody (znanej jako cel), która powoduje powstanie niewielkiego (zwykle o szerokości kilku mikrometrów) wysokoenergetycznego obszaru emitującego, znanego jako katoda miejsce. Umiejscowiona temperatura na punkcie katodowym jest niezwykle wysoka (około 15000 ℃), co skutkuje silnym strumieniem ewolucji (10 km / s) materiału z katodowej pary, pozostawiając krater za sobą na powierzchni katody.
Królewska technologia zaprojektowała i wyprodukowała próżniowe urządzenia metalizujące z serii RTAC-SP
popularne do stopów metali, mosiądzu, stopu cynku, plastiku, elektroniki, orurowania i hydrauliki, armatury hydrauliki, zaworów i kapsli systemu nawadniania; Zawory medyczne i przemysłowe itp. Celem procesu jest przede wszystkim zastąpienie galwanicznego chromu, który jest niebezpieczny dla ludzi i środowiska.
Konfiguracje i funkcje systemu High Vacuum Metallizing System:
| Model | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1615-SPMF |
| Efektywna wielkość komory | Φ 1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ 1600 x H1500mm |
| Źródła osadzania | Łuk cylindra (sterowany łuk kołowy dla opcji) + Krzywa rozpryskująca MF + Źródło liniowe jonów | ||
System pompowania próżniowego (Leybold Pumps + Turbo Molecular Pump) | SV300B - 1 zestaw (300 m³ / godz.) | SV300B - 1 zestaw (300 m³ / godz.) | SV300B - 2 zestaw (300 m³ / godz.) |
Zestaw WAU1001-1 (1000 m³ / godz.) | Zestaw WAU1001-1 (1000 m³ / godz.) | Zestaw WAU2001-1 (1000 m³ / godz.) | |
| Zestaw D60T-1 (60 m³ / godz.) | Zestaw D60T-1 (60 m³ / godz.) | Zestaw D60T-1 (60 m³ / godz.) | |
Turbo Pompy Molekularne: 2 zestawy (3500L / S) | Turbo Pompy Molekularne: 2 zestawy (3500L / S) | Turbo Pompy Molekularne: 3 zestawy (3500L / S) | |
| Rozpylanie zasilania | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF) | 3 * 36KW (MF) |
| Zasilanie łukiem | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
| Bias Power Supply | 1 * 24KW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
| Pręty planetarne | 6/8 | 12/16 | 20 |
| Grzejniki | 6 * 2,5KW | 8 * 2,5KW | 9 * 2,5KW |
| Ultimate Vacuum | 9,0 * 10-4Pa (pusta, czysta, temperatura pokojowa) | 9,0 * 10-4Pa (pusta, czysta, temperatura pokojowa) | 9,0 * 10-4Pa (pusta, czysta, temperatura pokojowa) |
| Czas cyklu (w zależności od pompy) | 40 '~ 50' zależy od materiału podłoża i receptur powłoki | ||
| Wymagający mocy roboczej | 3 fazy 4 linie, AC380V, 50 Hz, 35 kW | 3 fazy 4 linie, AC380V, 50 Hz, 120 kW | 3 fazy 4 linie, AC380V, 50 Hz, 150 kW |
| Woda chłodząca | TAK, przemysłowy agregat wody lodowej | ||
| Gaz przetwórczy (99,99%) | 4 sposoby | 4 sposoby | 4 sposoby |
| Ślad (mm) | 2000 * 2000 * 2300 | 4000 * 4500 * 3200 | 5500 * 5000 * 3600 |
| Waga całkowita (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
| Całkowite zużycie energii (w przybliżeniu) | 50KW | 110KW | 170KW |
| Rzeczywiste zużycie energii (w przybliżeniu) | 30KW | 60KW | 80KW |
Powyżej parametrów technicznych tylko w celach informacyjnych, Royaltec zastrzega sobie prawo do końcowej produkcji w oparciu o określone aplikacje.
Proszę skonsultować się z nami z oczekiwanymi rozwiązaniami, które chcesz uzyskać od Royaltec, dostarczamy gotowe rozwiązania do powlekania w tej aplikacji.
