|
| Nazwa marki: | ROYAL |
| Numer modelu: | RTSP |
| MOQ: | 1 |
| Cena £: | Negoitable |
System osadzania rozpylania UHV wykorzystuje katody rozpylania jako źródła osadzania PVD. Zawsze łączył napylanie MF i napylanie DC do zastosowań w przemysłowym powlekaniu PVD. W oparciu o różne cele i wymagania prędkości osadzania napylania, Royal Technology zapewnia napylacze cylindryczne i płaskie katody napylające, głównie do szybkich napylania w celu zaspokojenia popytu na powłoki produkcyjne.
Nasz wysokopróżniowy system rozpylania magnetronowego przeznaczony jest do powlekania warstwą miedzi, aluminium, tworzywa sztucznego i metalowych płytek drukowanych. Może kondensować cienką warstwę Nano na podłożach. Oprócz rozpylania Ag, może również osadzać tarcze Ni, Au, Ag, Al, Cr, ze stali nierdzewnej.
Może osadzać folie o wysokiej jednorodności na różnych podłożach: panel plastikowy, panel PC, blacha aluminiowa, blacha ceramiczna, ceramika Al2O3, AlN, blacha silikonowa itp.
RTSP1215 Układ sprzętu do napylania jonowego
Seria RTSP Zastosowanie urządzeń do napylania powłokowego:
1. Dostępne na podłożach: z tworzywa sztucznego, polimeru, szkła i arkuszy ceramicznych, stali nierdzewnej, blachy miedzianej, płyty aluminiowej itp.
2. Aby wygenerować film Nano, taki jak: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al itp.
Seria urządzeń RT-SP do napylania powlekającego Cechy konstrukcyjne:
1. Solidna konstrukcja, dobra do ograniczonej przestrzeni w pomieszczeniu
2. Łatwy dostęp w celu konserwacji i naprawy
3. System szybkiego pompowania dla wysokiej wydajności
4. Dostępna jest również obudowa elektryczna standardu CE, standard UL.
5. Dokładne wykonanie
6. Stabilny bieg gwarantujący wysoką jakość produkcji folii.
Źródło jonów jest oryginalne od firmy Gencoa, właściwości:
1. Zoptymalizowane pola magnetyczne do wytwarzania skolimowanej wiązki plazmy przy standardowych ciśnieniach rozpylania
2. Zautomatyzowana regulacja gazu w celu utrzymania stałego prądu i napięcia - automatyczne sterowanie wieloma gazami
3. Anoda grafitowa i katoda w celu ochrony podłoża przed zanieczyszczeniem i zapewnienia trwałości komponentów
4. Standardowa izolacja elektryczna RF na wszystkich źródłach jonów
5. Bezpośrednie chłodzenie anody i katody - szybkie przełączanie części
6. Łatwe przełączanie części katody w celu zapewnienia wielu pułapek magnetycznych do pracy przy niższym napięciu lub skupionej wiązki
7. Zasilacz o regulowanym napięciu ze sprzężeniem zwrotnym regulacji gazu w celu utrzymania tego samego prądu przez cały czas
System osadzania rozpylanego magnetronu w wysokiej próżni Dane techniczne:
| MODEL | RT1215-SP |
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) |
| ROZMIAR KOMORY | Φ1200 * 1500 mm (H) |
| TYP KOMORU | Konstrukcja 1-drzwiowa, pionowa |
| PAKIET POJEDYNCZEJ POMPY | Rotacyjna pompa łopatkowa próżniowa |
| Roots Pump Vacuum | |
| Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym | |
| Dwustopniowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa | |
| TECHNOLOGIA | Rozpylanie magnetronowe MF, liniowe źródło jonów |
| ZASILACZ | Zasilanie rozpylania + Bias Zasilanie + Źródło jonów |
| ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | 4 pary katod rozpylających MF + źródło jonów + rozpylacze prądu stałego |
| KONTROLA | PLC + ekran dotykowy |
| GAZ | Mierniki przepływu gazu (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, azot i etyna, tlen |
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa w celu ochrony operatorów i sprzętu |
| CHŁODZENIE | Woda chłodząca |
| CZYSZCZENIE | Źródło wyładowania / jonu |
| POWER MAX. | 120 kW |
| ŚREDNIE ZUŻYCIE MOCY | 70 kW |
Kluczowe elementy do rozpylania miedzi / aluminium / węgla
1. Silny system pompowania: pompy podkładowe Leybold + pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym Osaka
2. System dystrybucji szaf wody / gazu
3. System dystrybucji katod rozpylających
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
