Wysokowydajny sprzęt do odlewania pod próżnią metaliczną CsI - metalizator próżniowy firmy Thermal Crucible

Wysokowydajny próżniowy sprzęt do osadzania metali, metalizator próżniowy CsI firmy Thermal Crucible

Słowa kluczowe: wysoka rozdzielczość, CsI: T1;cienkie błony scyntylacyjne;obrazowanie rentgenowskie;metoda osadzania próżniowego, osadzanie końcowe warstwy węgla

Osadzanie cienkich warstw CsI w urządzeniach do obrazowania rentgenowskiego to zaawansowana technika odparowywania CsI na ekranie w celu uzyskania wysokiej jakości obrazowania.Dzięki wysokiej rozdzielczości, szeroko stosowanym również w kontroli i inspekcji bezpieczeństwa, przedmiotach fizyki wysokich energii, fizyce obszarów energii jądrowej itp.

System powlekania przez odparowanie termiczne RTEP0913 został opracowany do osadzania filmu CsI na obrazowaniu rentgenowskim w środowisku wysokiej próżni.Scyntylatory CsI T1 o grubości od 2 μm do 14 μm.Folię z warstwy węglowej można uznać za post-osadzanie w celu poprawy wysokich rozdzielczości.

Jodek cezu (CsI T1) Próżnia Zeznanie wydajność i charakteryzacje

• Ultra-wysoka rozdzielczość przestrzenna obrazowania;
• Szybka reakcja zapewniająca ostrzejsze obrazowanie;
• Wiodące w swojej klasie obszary obrazu od krawędzi do krawędzi;
• Optyczne warstwy pochłaniające lub warstwy odbłyśnikowe;
• Niska dawka promieniowania rentgenowskiego dla pacjenta;
• Nadaje się do urządzeń CCD i CMOS, szczególnie w przemyśle medycznym.

Rodzaj:

jaOrientacja pionowa, Cylinder, 1-drzwiowy, otwierany z przodu.

ProjektCechy:

jaUltrawysokie ostateczne podciśnienie: do 9,0*10^-5Rocznie;

jaUrządzenia do szybkiego nagrzewania zapewniające dobrą przyczepność;

ja Właściwy dobór pompy wysokiej próżni i systemu pompowania, aby uniknąć materiałów niebezpiecznych  wyeksponowany w powietrzu;

jaSolidny, kompaktowy i solidny system powlekania;

jaWysoka stabilność, praca 960 godzin bez przerwy.

jaUrządzenie Inficon Film Thickness Controller do monitorowania grubości folii w linii.

jaWyłącznie projekt i wybór tygli do osadzania CsI.

jaPowłoka podłoża, max.rozmiar: 500*500mm

jaZaawansowane koncepcje projektowania regałów umożliwiają załadowanie 2 sztuk podłoży na partię, co znacznie zwiększa wydajność produkcji.

Specyfikacja techniczna:

jaWydajność

1.Ostateczny Próżnia Ciśnienie: lepszy niż 9,0*10^-5Rocznie;

2.Podciśnienie robocze: 60,0*10^-4Rocznie~90,0*10^-4Rocznie; 

Podciśnienie podstawowe: 30,0*10^-4Rocznie

3. Pompowanie Czas przestoju: od 1 atm do 20,0×10^-3 Rocznie≤25minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Źródło osadzania: odparowywanie termiczne tygla kwarcowego

5. Model operacyjny:Całkowicie automatyczniematycznie /Półautomatycznie/ Ręcznie 

6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do max.1000 ℃,
Czas nagrzewania podłoża szklanego TFT: od 0 ~ 250 ℃ < 40 minut;

7. Szybkość osadzania CsI:  0～100nm/s

8. CsI: grubość folii T1: do 600 μm

jaStruktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa
1,1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 900mm

Wysokość wewnętrzna: 1300mm

1.2materiał: Komora próżniowa SUS304

Drzwi i kołnierze SUS304

Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z malowaną powierzchnią wykończeniową.

Podwozie komorowe ze stali miękkiej SS41 z malowaną powierzchnią wykończeniową.

1.3 Odparowanie Shpole: SUS304

1.4 Okno widoku: nadrzwi komory

1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)

1.6 Drzwi: materiał SUS304

2. Rouging System pompowania próżniowego:
Olejowa pompa próżniowa łopatkowa + pompa korzeniowa (Niemcy Pfeiffer)

 

3.System pompowania wysokiego podciśnienia:

Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym (Niemcy Pfeiffer)

4. Elektryczny system sterowania i obsługi- Ekran dotykowy PLC+

4,1 mlnw obwodzie: Wyłącznik bez bezpiecznika, elektromagnetycznyprzełącznik, C/T w typie szeregowym

4.2  Moc parowania

4.3 System kontroli parowania

4.4System operacyjny: ekran dotykowy +PLC, kontrola receptur i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie

4.5  Zmierzenie System

     Ciśnienie próżniowe : Wskaźnik podciśnienia: Pirani + manometr Penninga + pełny zakres wakuometru

Urządzenie do pomiaru temperatury: termopara

Kontroler grubości folii: marka Inficon, SQC-310   
 

4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza , Przepływ wody chłodzącej, Miś-operacja 

4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia

5.System osadzania

5.1 Źródło osadzania: tygiel kwarcowy

5.2 Materiał osadzony: CsI, węgiel

6. Podsystem

6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza

6.2 System wody chłodzącej: rura przepływu wody i system zaworu przełączającego

 Środowisko pracy

Sprężone powietrze: 5~8kg/cm2

Woda chłodząca: Temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
           Ciśnienie wody: 2~3 kg/cm2,

Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 65kVA, średni pobór mocy: 30KW 

Obszar instalacji: (Dł. * Szer. * Wys.) 3000*200*2300mm

Wydechowy: Odpowietrznik dla pompa mechanicznas

Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.