Wysokowydajny próżniowy sprzęt do osadzania metali, metalizator próżniowy CsI firmy Thermal Crucible
Słowa kluczowe: wysoka rozdzielczość, CsI: T1;cienkie błony scyntylacyjne;obrazowanie rentgenowskie;metoda osadzania próżniowego, osadzanie końcowe warstwy węgla
Osadzanie cienkich warstw CsI w urządzeniach do obrazowania rentgenowskiego to zaawansowana technika odparowywania CsI na ekranie w celu uzyskania wysokiej jakości obrazowania.Dzięki wysokiej rozdzielczości, szeroko stosowanym również w kontroli i inspekcji bezpieczeństwa, przedmiotach fizyki wysokich energii, fizyce obszarów energii jądrowej itp.
System powlekania przez odparowanie termiczne RTEP0913 został opracowany do osadzania filmu CsI na obrazowaniu rentgenowskim w środowisku wysokiej próżni.Scyntylatory CsI T1 o grubości od 2 μm do 14 μm.Folię z warstwy węglowej można uznać za post-osadzanie w celu poprawy wysokich rozdzielczości.
Jodek cezu (CsI T1) Próżnia Zeznanie wydajność i charakteryzacje
Rodzaj:
jaOrientacja pionowa, Cylinder, 1-drzwiowy, otwierany z przodu.
ProjektCechy:
jaUltrawysokie ostateczne podciśnienie: do 9,0*10-5Rocznie;
jaUrządzenia do szybkiego nagrzewania zapewniające dobrą przyczepność;
ja Właściwy dobór pompy wysokiej próżni i systemu pompowania, aby uniknąć materiałów niebezpiecznych wyeksponowany w powietrzu;
jaSolidny, kompaktowy i solidny system powlekania;
jaWysoka stabilność, praca 960 godzin bez przerwy.
jaUrządzenie Inficon Film Thickness Controller do monitorowania grubości folii w linii.
jaWyłącznie projekt i wybór tygli do osadzania CsI.
jaPowłoka podłoża, max.rozmiar: 500*500mm
jaZaawansowane koncepcje projektowania regałów umożliwiają załadowanie 2 sztuk podłoży na partię, co znacznie zwiększa wydajność produkcji.
Specyfikacja techniczna:
jaWydajność
1.Ostateczny Próżnia Ciśnienie: lepszy niż 9,0*10-5Rocznie;
2.Podciśnienie robocze: 60,0*10-4Rocznie~90,0*10-4Rocznie;
Podciśnienie podstawowe: 30,0*10-4Rocznie
3. Pompowanie Czas przestoju: od 1 atm do 20,0×10-3 Rocznie≤25minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło osadzania: odparowywanie termiczne tygla kwarcowego
5. Model operacyjny:Całkowicie automatyczniematycznie /Półautomatycznie/ Ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do max.1000 ℃,
Czas nagrzewania podłoża szklanego TFT: od 0 ~ 250 ℃ < 40 minut;
7. Szybkość osadzania CsI: 0～100nm/s
8. CsI: grubość folii T1: do 600 μm
jaStruktura
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1,1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 900mm
Wysokość wewnętrzna: 1300mm
1.2materiał: Komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z malowaną powierzchnią wykończeniową.
Podwozie komorowe ze stali miękkiej SS41 z malowaną powierzchnią wykończeniową.
1.3 Odparowanie Shpole: SUS304
1.4 Okno widoku: nadrzwi komory
1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: materiał SUS304
2. Rouging System pompowania próżniowego:
Olejowa pompa próżniowa łopatkowa + pompa korzeniowa (Niemcy Pfeiffer)
3.System pompowania wysokiego podciśnienia:
Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym (Niemcy Pfeiffer)
4. Elektryczny system sterowania i obsługi- Ekran dotykowy PLC+
4,1 mlnw obwodzie: Wyłącznik bez bezpiecznika, elektromagnetycznyprzełącznik, C/T w typie szeregowym
4.2 Moc parowania
4.3 System kontroli parowania
4.4System operacyjny: ekran dotykowy +PLC, kontrola receptur i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie
4.5 Zmierzenie System
Ciśnienie próżniowe : Wskaźnik podciśnienia: Pirani + manometr Penninga + pełny zakres wakuometru
Urządzenie do pomiaru temperatury: termopara
Kontroler grubości folii: marka Inficon, SQC-310
4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza , Przepływ wody chłodzącej, Miś-operacja
4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5.System osadzania
5.1 Źródło osadzania: tygiel kwarcowy
5.2 Materiał osadzony: CsI, węgiel
6. Podsystem
6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza
6.2 System wody chłodzącej: rura przepływu wody i system zaworu przełączającego
Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5~8kg/cm2
Woda chłodząca: Temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2~3 kg/cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 65kVA, średni pobór mocy: 30KW
Obszar instalacji: (Dł. * Szer. * Wys.) 3000*200*2300mm
Wydechowy: Odpowietrznik dla pompa mechanicznas
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
