Złoto, srebro i miedź Ceramic PVD Spruttering Deposition Machine,

Au Gold Sputtering Deposition Equipment, Silve/Gold PVD Deposition Machine, Conductive Film PVD Sputtering System (zestaw do rozpylania złota) 

Podsumowanie:Proces DPC- Direct Plating Copper jest zaawansowaną technologią powłoki stosowaną w przemyśle LED / półprzewodników / elektroniki.Depozycja folii przewodzącej koprem na tlenku aluminium (Al2O3), substratów AlN za pomocą technologii plamkowania próżniowego PVD, w porównaniu z tradycyjną produkcją

metody: DBC LTCC HTCC, znacznie niższe koszty produkcji jest jego wysoką cechą.

Zespół Royal Technology pomógł naszemu klientowi opracować proces DPC z powodzeniem za pomocą technologii rozpylania PVD.

Kluczowe słowa:Części uszczelniające ceramiczne, proces DPC, system rozpylania miedzi PVD, LED ceramiczne chipy z pokryciem Cooper, Al₂O₃, AlN ceramiczne płyty obwodowe, Al2O3 Płyty na LED, półprzewodnik

ZastosowanieDPC:

· HBLED

· Substraty do ogniw koncentratorów słonecznych

· Opakowania półprzewodnikowe o wysokiej mocy, w tym sterowanie silnikami samochodowymi

· Elektronika zarządzania energią w pojazdach hybrydowych i elektrycznych

· Pakiety dla RF

· Urządzenia mikrofalowe

Wydajność technologii DPC

Różne materiały podłoża: ceramika (Al3O2, AlN), szkło i Si

• Znacznie niższe koszty produkcji.
• Wyjątkowe osiągi w zakresie zarządzania cieplnym i transferu ciepła
• Dokładne wyrównanie i projektowanie wzoru
• Wytrzymałe przyczepienie metalizacyjne

Charakterystyka:

• Wysoka przepustowość do 2,2 m2 podłoża ceramicznego na cykl;
• Silne przyczepienie z silnym urządzeniem grzewczym i czyszczeniem źródła plazmy;
• Kompaktna konstrukcja i łatwy dostęp do prac modernizacyjnych i konserwacyjnych.
• Całkowicie automatyczny, PLC + ekran dotykowy, jeden dotyk systemu sterowania.
• Wysoka wydajność przy mniejszym zużyciu energii, maksymalnie 50% oszczędności kosztów produkcji.

Specyfikacje techniczne

• Wydajność

1Ciśnienie próżniowe ostateczne: lepsze niż 9,0*10^-5Ojcze.

• Ciśnienie próżni bazowej: 3,0*10^-2Ojcze.

3. Pompowanie w dół Czas: od atm do 1,0 × 10^-3Pa≤15 minut (temperatura pokojowa, komora sucha, czysta i pusta)

4Źródło osadzenia: katody rozpylające magnetron Gencoa, katody łukowe sterowane, źródło jonowe

5Model działania: pełna automatyczna / półautomatyczna / ręczna

6- ogrzewanie: od temperatury pokojowej do maksymalnie 500°C,

9Źródło jonowe do procesu PECVD i PA PVD.

• Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy komplet systemu wymieniony poniżej:

1Komora próżniowa

1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna: 1200 mm

Wysokość wewnętrzna: 1500 mm

1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304

Włókiennicze i kołnierze drzwiowe SUS304

Struktura wzmocnienia komory: stal łagodna SS41, z malowanym wykończeniem powierzchni.

Podwozie komory SS41 ze stali miękkiej z malowaną powierzchnią wykończenia.

1.3 Osłona komory: SUS304

1Okno widokowe: 2 na drzwiach

1.5 Zawór wentylacyjny komory próżniowej (włączając tłumik)

1.6 Drzwi: materiał SUS304

2- Nie.gingiemSystem pompowania próżniowego:

Pompa próżniowa z płaszczami obrotowymi + pompa utrzymująca
 

3System pompowania pod wysoką próżnią: Magnetycznie zawieszona pompa molekularna - 2 zestawy

4Elektryczny system sterowania i działania - PLC+ Układ sterowania ekranem dotykowym:

Dostawcy:

PLC: Mitsubishi + ekran dotykowy (Made in China)

Komponenty elektroniczne:

System ochrony bezpieczeństwa:Liczne zabezpieczenia zabezpieczające do ochrony operatorów i sprzętu (woda, prąd gazowy, temperatura itp.)

System procesów powlekania: Automatyzacja i kontrola procesów.

4.1 Obwód główny: wyłącznik wyłącznika bez bezpiecznika, wyłącznik elektromagnetyczny, C/T w serii

4.2 Zasilanie: zasilanie prądem stałym/MF + zasilanie łukiem stałym + zasilanie biasowe

4.3 System kontroli osadzenia

4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, sterowanie recepturami i rejestrowanie danych, automatyczne wyłączenie, automatyczna ewakuacja, automatyczne powłoki

4.5 Układ pomiarowy

Ciśnienie próżniowe: Miernik próżniowy: Pirani + Miernik Penning + Miernik próżniowy całego zakresu -- marka Europe

Urządzenie do pomiaru temperatury: termopłata
MFC: sterownik przepływu masy (cztery sposoby ),

4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie

4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia

5System depozytowania

5.1 Źródło osadzenia: katody rozpylania + źródła łuku + źródło jonowe

5.2 Materiał osadzania: miedź, aluminium, chrom, srebro, złoto, SS, tytan itp.
 

6.Podsystem

6.1 Układ sterowania zaworami sprężonego powietrza

6.2 System wody chłodzącej:Ruch przepływu wody i system zaworu przełącznikowego

7Środowisko pracy

Powietrze sprężone: 5~8 kg/cm2

Woda chłodząca: Temperatura wprowadzania wody: 20~25°C, 200 litrów/min,
Ciśnienie wprowadzane przez wodę: 2~3 kg/cm2,

Moc: 3 fazy 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, średnie zużycie energii: 60KW

Obszar instalacji: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Wydechy: wentylacja pomp mechanicznych

Proszę skontaktować się z nami, aby uzyskać więcej informacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu całkowite rozwiązania powłoki.