|
| Nazwa marki: | ROYAL |
| Numer modelu: | RTAC-SP |
| MOQ: | 1 zestaw |
| Cena £: | negocjowalne |
| Warunki płatności: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Zdolność do zaopatrzenia: | 12 zestawów miesięcznie |
Maszyna do napylania magnetronowego firmy Au Gold na silikonowych waflach, szkiełku, ceramicznych płytkach
Au Gold Rozpylanie magnetronowe na waflach krzemowych
Podsumowanie:
Warstwa złota rozpylania zawiera:
1. Warstwa wiążąca ma zasadnicze znaczenie dla zwiększenia przyczepności podłoża i folii metalowej. Royal Technology opracowała szereg dojrzałych receptur powłokowych opartych na różnych zastosowaniach, wspierając naszych klientów fachową poradą.
2. Chropowatość (RMS - średni kwadrat) <40Å jest oczekiwana dla większości zastosowań. W przypadku niektórych zastosowań sond skanujących może być wymagana mniejsza szorstkość, na ogół 1,5 ~ 4 nm.
4. Czystość powierzchni o złotej powierzchni rozpylania: wymagana jest czysta powierzchnia dla zastosowań, w których stosuje się modyfikacje powierzchni złota. W zależności od zastosowanego procesu PVD, poziomu próżni w systemie, pierwotnej czystości źródła złota (ogólnie ponad 99,99%)
Słowa kluczowe: osadzanie cienkiej warstwy złota nanostrukturalnego w złocie, napylanie magnetronowe z wykorzystaniem cienkiego filmu, napylanie magneto-magnetyczne PVD, złoty metalizowany system próżniowy
Aplikacje:
Laboratorium uniwersytetów, dział R & D producentów materiałów metalowych, centra serwisowe próżniowe PVD, najczęściej stosowane w przemyśle elektronicznym jako warstwa przewodząca i nauki o próbkach mikroskopowych itp.
Specyfikacja techniczna:
| MODEL | RTAC0808-SP |
| TECHNOLOGIA | DC Sputtering + Ion source (dla opcji) |
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) |
| ROZMIAR KOMORY | Φ800 * H800mm |
| TYP KOMORY | Cylinder, pionowy, 1-drzwiowy |
| ROTARY SYSTEM RACK | Kierowanie planetarne / centralne |
| MATERIAŁ DEPOSITION | Złoto, aluminium, srebro, miedź, chrom, stal nierdzewna, nikiel, tytan |
| ŹRÓDŁO USUWANIA | Katodowe / planarne katody rozpryskujące: 2 lub 3 dla opcji. + 3 źródła łuku |
| REAKTYWNA KONTROLA GAZU | MFC, 2/4 sposoby |
| KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) + Ekran dotykowy |
| SYSTEM POMPY | SV300B - zestaw 1 (Leybold) 300 m³ / godz |
| Pompa Roots - 1 zestaw, 150L / S | |
| Pompa podtrzymująca - 1 zestaw, 60 m³ / godz | |
| Turbo Molecular Pump: - 1 zestaw, 3500 L / S | |
| ZASILACZ | Napięcie polaryzacji: 1 * 24 KW Moc rozpylania DC: 2 * 24KW |
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt |
| CHŁODZENIE | Recykling wody chłodzącej |
| OGRZEWANIE | Grzejniki, 9KW |
| POWER ELECTRICAL | 480 V / 3 fazy / 60 Hz (zgodność z USA) |
| 460 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z azjatycką) | |
| 380 V / 3 fazy / 50 Hz (zgodność z UE-CE) | |
| ŚLAD STOPY | L3200 * W2600 * H2000mm |
| WAGA CAŁKOWITA | 3,0 t |
| CZAS CYKLU | 30 ~ 40 minut (w zależności od materiału podłoża, geometria podłoża i warunki środowiskowe) |
| POWER MAX .. | 50KW |
| ŚREDNIE ZUŻYCIE ENERGII (OK.) | 20KW |
Wafle złocone PVD
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
