|
| Nazwa marki: | ROYAL |
| Numer modelu: | RTAS1200 |
| MOQ: | 1 zestaw |
| Cena £: | negocjowalne |
| Warunki płatności: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Zdolność do zaopatrzenia: | 10 ZESTAWÓW MIESIĘCZNIE |
Pasek zegarkowy Sprzęt do powlekania próżniowego Katody napylające typu MF / DC
Pasek do zegarków Sprzęt do powlekania próżniowego
Słowa kluczowe: twarde powłoki PVD, proces PECVD, folia DLC, folia diamentowa, jak węgiel, napylanie, folia optyczna, katoda rozpylająca Gencoa Magnetron, źródło jonów, PA PVD
Funkcje projektu RTAC950-SP:
Specyfikacja techniczna
1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 8,0 * 10 - 4 Pa;
3. Czas pompowania w dół: od atm do 1,0 × 10 - 3 Pa ≤15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)
4. Źródło odkładania: katodowe katody rozpylające z magnetronem Gencoa, sterowane katody łukowe, źródło jonów
5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie
6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do max. 500 ℃,
9. Źródło jonów dla procesu PECVD i PA PVD.
Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:
1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: wewnętrzna głębokość 950 mm
Wewnętrzna wysokość: 1350 mm
1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304
Drzwi i kołnierze SUS304
Struktura wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
Podwozie komorowe SS41 ze stali miękkiej z lakierowaną obróbką powierzchni wykończeniowych.
1.3 Tarcza komorowa: SUS304
1.4 Okno widoku: na drzwiach komory -2
1,5 próżniowy komorowy zawór odpowietrzający (w tym tłumik)
1.6 Drzwi: 2 zestawy, przód i tył, materiał SUS304
2. Zgrubny system pompowania próżniowego:
Olejowa łopatkowa pompa próżniowa + pompa podtrzymująca
3. Wysokie próżniowe układy pompowania:
Turbo Molecular Pump - 2 zestawy
4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny - PLC + ekran dotykowy System operacyjny:
Dostawcy:
PLC: Mitsubishi, model: FX-IN60MR-001 SERIA
Komponenty elektroniczne: SCHNEIDER, OMRON.
System ochrony bezpieczeństwa: liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt (woda, prąd gazowy, temperatura itp.)
System procesów powlekania : automatyzacja procesów i sterowanie. Automatycznie zapisywane w pamięci przez 3 miesiące. Polecane dane dotyczące receptur: docelowy prąd / napięcie pracy, przepływ masowy, ciśnienie podciśnienia, temperatura, czasy powlekania są zapisywane do analizy w celu poprawy jakości powłok.
4.1 Obwód główny: brak bezpiecznika, przełącznik elektromagnetyczny, C / T w typoszeregu
4.2 Zasilanie: moc rozpylania MF + moc łuku DC + zasilanie polaryzujące
4.3 System kontroli osadzania
4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie
4.5 System pomiarowy
Ciśnienie próżni: miernik próżni: wskaźnik Pirani + Penning + Pełnozakresowy miernik próżni - marka europejska
Urządzenie do pomiaru temperatury: termoelement
MFC: Kontroler przepływu masowego (4 sposoby),
4.6 System alarmowy: Ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, niewłaściwe działanie
4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia
5 . System osadzania
5.1 Źródło osadzania: katody rozpylające + źródła łuku + źródło jonów
5.2 Materiał do osadzania: ITO, tytan, chrom, aluminium, stal nierdzewna, TiAl itp.
6. Podsystem
6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza
6.2 System wody chłodzącej: rura doprowadzająca wodę i system zaworu przełączającego
7. Środowisko pracy
Sprężone powietrze: 5 ~ 8kg / cm2
Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,
Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, średni pobór mocy: 60 kW
Obszar instalacji: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 mm
Wydech: odpowietrznik do pomp mechanicznych
Aplikacje
Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
