Aplikacje:

Maszyna RTSP1213 jest systemem rozpylania okresowego, może osadzać różne twarde powłoki, powłoki miękkie, powłoki złożone i stałe powłoki smarujące na podłożach metalowych i niemetalicznych. Stosowany w Mosaic, przemyśle pojazdów napędzanych wodorowymi ogniwami paliwowymi, produktach fotonicznych, przemyśle lotniczym i kosmicznym oraz innych nowych branżach energetycznych.

Nieruchomości:

Aby poprawić przewodność powierzchni;

Wysoka odporność na korozję;

Wysoka odporność na zużycie;

Wysoka twardość

Film kompozycji hydrofobowej i inne filmy funkcjonalne

Dostępne dla powłok złożonych: filmów metalicznych i niemetalicznych.

Zakres grubości folii od 100 nm do 12 μm, tolerancja grubości ± 5%
Silna przyczepność.

Utwardzanie powierzchni części o niskiej temperaturze.

Rodzaj:

Orientacja pionowa, struktura wielościanu, 2-drzwiowy (przód i tył)

Cechy:

• System przyjazny dla środowiska, bez ścieków przemysłowych, zanieczyszczenia powietrza i hałasu;
• Łatwa obsługa: ekran dotykowy + sterowanie PLC i unikalny program do obsługi jednym dotknięciem, alarm o ponad 80% rozwiązywaniu problemów.
• Do 10 receptur przetwarzania logowania i kopii zapasowej; wysoka powtarzalność i różnorodność.
• Specjalna konstrukcja systemu karuzelowego dla wysokiej jednorodności osadzania filmu.
• Wysoka wydajność i wysoka jakość
• Stabilny i niezawodny system, działający 365 dni * 24 godziny (czas konserwacji i naprawy)
• Wydajny system pompowania: krótsze próżniowe przewody rurowe dla maksymalnej prędkości rurociągów dzięki pompom znanej europejskiej marki
• Kompaktowa konstrukcja zajmuje minimalną przestrzeń instalacyjną.

Specyfikacja techniczna

• Występ

1. Ostateczne ciśnienie próżniowe: lepsze niż 8,0 * 10 ^-5 Pa;

• Podstawowa próżnia: 3,0 * 10 ^{- 4} Pa

3. Czas pompowania: od atm do 1,0 × 10-3 Pa ≤ 15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Źródło osadzania: zrównoważone / niezrównoważone katody rozpylania

5. Model operacyjny: pełny automatycznie / półautomatycznie / ręcznie

6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do maks. 450 ℃,

7. Czyszczenie plazmy i osadzanie wspomagające plazmę: Anodowe źródło jonów liniowych

8. Magnetic Closed - Pętla złożona. (Niewyważenie / katody równowagi)

9. Bias Zasilacz do wyładowania jarzeniowego.

• Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna 1200 mm

Wysokość wewnętrzna: 1300 mm

1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304

Drzwi i kołnierze SUS304

Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z pomalowaną powierzchnią wykończeniową.

Podwozie komorowe Stal miękka SS41 z lakierowaną powłoką wykończeniową.

1.3 Tarcza rozpylająca: SUS304

1.4 Widok okna: na drzwiach komory - 4 zestawy (2 na każde drzwi)

1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)

1.6 Drzwi: materiał SUS304

2. Układ pompowania próżniowego :

Obrotowa łopatkowa pompa olejowa + pompa Rootsa + pompa trzymająca (Leybold)

3. System pompowania w wysokiej próżni :

Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym (Leybold)

• Zasuwy - 2 zestawy

4. Elektryczny system sterowania i obsługi - PLC + ekran dotykowy

4.1 Obwód główny: Wyłącznik bezpiecznikowy bez bezpiecznika, wyłącznik elektromagnetyczny, C / T szeregowo

4.2 Zasilanie rozpylające + zasilacz źródła jonów + zasilacz polaryzacji (Advanced Energy)

4.3 System kontroli osadzania rozpylania

4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptury i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczna ewakuacja, automatyczne powlekanie

4.5 Układ pomiarowy

Ciśnienie podciśnienia: Manometr: Pirani + Penning + Manometr próżniowy pełnego zakresu - marka europejska

Miernik temperatury: termopara
MFC: Kontroler przepływu masy (4 sposoby), tryb wyświetlania cyfrowego - marka europejska

4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie

4.7 Wskaźnik obciążenia: wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia

5 System osadzania

5.1 Źródło osadzania: Katody napylające, źródło jonów - marka europejska

5.2 Materiał do osadzania: Cel węglowy

6. Podsystem

6.1 Układ sterowania zaworem sprężonym powietrzem

6.2 System wody chłodzącej: Rura przepływowa i system zaworów przełączających

7. Środowisko pracy

Sprężone powietrze: 5 ~ 8 kg / cm2

Woda chłodząca: temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2 ~ 3 kg / cm2,

Moc: 3 fazy 380 V 50 Hz (60 Hz), 75 kVA, średni pobór mocy: 40 kW

Obszar instalacji: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200 mm

Wydech: Odpowietrzenie dla pomp mechanicznych

Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.