| MODEL | RTAC1618 | ||
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||
| ROZMIAR KOMORY | Φ 1600 * 1800 mm (wys.) | ||
| SYSTEM POMPY | Obrotowa tłokowa pompa próżniowa (mechaniczna) | ||
| Rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa (trzymająca) | |||
| Roots Pump Vacuum | |||
| Pompa dyfuzyjna | |||
| TECHNOLOGIA | Ion Plating (źródła z wieloma łukami) | ||
| TYPOWE CELE | Chrom, Tytan, Cyrkon, TiAl | ||
| GAZ | Mierniki przepływu gazu (Ar, N2) Argon, azot | ||
| KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) | ||
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa w celu ochrony operatorów i sprzętu | ||
| CHŁODZENIE | Recyle Cooling Water | ||
| OGRZEWANIE | Grzejnik, do 300 ℃ | ||
| POWER MAX. | 150 kW (w przybliżeniu) | ||
| ŚREDNIE ZUŻYCIE MOCY | 70 kW (w przybliżeniu) | ||
Sprzęt do powlekania ścian ceramicznych PVD wykorzystuje technologię powlekania jonowego w celu odparowania metali solidowych, takich jak tytan, chrom, za pomocą źródła łuku katodowego i kondensacji zjonizowanych metali na powierzchni produktu w celu wytworzenia cienkiej warstwy Nano w środowisku o wysokiej próżni. Z gazem reaktywnym, takim jak: Azot do generowania różnych kolorów.
Sprzęt do powlekania ścian ceramicznych PVD:
1. Komora próżniowa jest pionowa z jednymi otwartymi drzwiami, producent stali nierdzewnej 304, średnica wewnętrzna komory próżniowej od from1400 mm do mm 2000 mm;
2. System próżniowy z obrotową pompą łopatkową, pompą Rootsa i pompami do dyfuzji oleju lub konstruowaniem pompy molekularnej;
3. System powłok wykorzystuje magnetyzm o częstotliwości pośredniej 1-2 do sterowania źródłem mocy rozpylania, ma 1-2 pary niezrównoważonego magnetyzmu do kontrolowania celu i ma 14-40 źródeł łuku.
4. Wysokowydajne źródło zasilania o tendencyjnym impulsie;
5. System zgazowania wykorzystuje produkowany w kraju lub importowany gazowy przepływomierz masowy, miernik kontroli ilości gazu (demonstracyjny);
6. Obwód elektryczny elektrycznie sterowanego systemu jest przeciążony, odcina dopływ wody, umiera akustyczno-optyczny alarm;
7. System sterowania (ekran dotykowy + PLC), szczegółowy parametr wyświetlania w czasie rzeczywistym, całkowicie automatyczne sterowanie całym procesem produkcyjnym i automatyczny parametr technologiczny pamięci.
Inne niestandardowe rozmiary maszyn są dostępne na podstawie określonych wymiarów produktu i zapotrzebowania na wydajność.
Model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Komora Rozmiar wewnętrzny | 1000 x 800 mm | 1000 x 1200 mm | 1200 x 1500 mm | 1400 x 1600 mm | 1600x1600mm | ||||||
| Rodzaj zasilania | Zasilacz łukowy, żarnikowy, zasilacz impulsowy | ||||||||||
| Struktura komory próżniowej | Pionowa konstrukcja drzwi przednich, tylny układ wydechowy i dwuwarstwowa komora chłodzenia wodą | ||||||||||
| Materiał komory próżniowej | stal nierdzewna 304 / 316L | ||||||||||
| Najwyższa próżnia | 6.0x10-4Pa (rozładunek, czysta, komora susząca) | ||||||||||
| Prędkość pompowania próżniowego | od atmosfery do 8,0 * 10-3Pa ≤15 minut | ||||||||||
| System pompowania próżniowego | Pompa dyfuzyjna lub pompa molekularna + pompa Rootsa + pompa mechaniczna + pompa trzymająca (konkretny model można wybrać zgodnie z wymaganiami klienta) | ||||||||||
| Źródło łuku | 6 jednostek lub 8 jednostek | 8 jednostek lub 10 jednostek | 10 jednostek lub 12 jednostek | 14 jednostek lub 16 jednostek | 16 jednostek lub 18 jednostek | ||||||
| Zasilacz polaryzacyjny | 20 kW / zestaw | 20 kW / zestaw | 30 kW / zestaw | 40 kW / zestaw | 50 kW / zestaw | ||||||
| Model jazdy | Rewolucja i obrót planetarny, regulacja prędkości zmiennej częstotliwości (kontrolowane i regulowane) | ||||||||||
| System grzewczy | Regulowany i regulowany od temperatury pokojowej do 450 ° C (Kontrola temperatury PID) | ||||||||||
| MFC | 3-ścieżkowy lub 4-ścieżkowy system kontroli i wyświetlania przepływu gazu procesowego, selektywny automatyczny system gazowania | ||||||||||
| System chłodzenia | Tryb chłodzenia z obiegiem wody, wieża chłodnicza lub przemysłowa chłodnica wodna lub system głębokiego chłodzenia. (Dostarczone przez klientów) | ||||||||||
| Tryb sterowania | Tryb integracji ręcznej / automatycznej, obsługa ekranu dotykowego, sterowanie PLC lub komputerem | ||||||||||
| Całkowita moc | 30 kW | 35 kW | 45 kW | 60 kW | 75 kW | ||||||
| Alarm i ochrona | Alarmuj niedobór wody, przetężenie i przepięcie, otwarty obwód i inne nienormalne warunki pomp, celów itp. I zastosuj odpowiednie środki ochronne i funkcję blokady elektrycznej | ||||||||||
| Obszar wyposażenia | W2,5 m * L3,5 m | W3m * L4m | W4m * L5m | W4,5m * L6m | W5m * L7m | ||||||
| Inne parametry techniczne | Ciśnienie wody ≥0,2 MPa, temperatura wody ≤25 ° C, ciśnienie powietrza 0,5-0,8 MPa | ||||||||||
| Uwagi | Konkretną konfigurację sprzętu do powlekania można zaprojektować zgodnie z wymaganiami procesowymi dotyczącymi wydajności powlekania | ||||||||||
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
