Seria RTAS jest zintegrowaną maszyną do osadzania wielu źródeł do ogólnych kolorów grafitu, czerni, błękitu, miedzi i brązu na częściach metalowych, obiektach ze stali nierdzewnej.Szczególnie używany do luksusowych części wysokiej klasy.
Standard Podanie
Biżuteria, paski i korpusy do zegarków, Sport ze stali nierdzewnej, Przyrządy do pisania
Elektronika użytkowa: telefon komórkowy, laptop, aparat fotograficzny, drony
Maszyny RTAS wyposażone w źródła osadzania łukiem kołowym i napylaniem cylindrycznym.Wiele kombinacji rozpylania DC, napylania MF, odparowywania łuku i źródła jonów itp. Wszystkie są dostępne w jednej maszynie, co zapewnia dużą elastyczność konfiguracji, aby sprostać różnym zastosowaniom.Szczególnie do estetycznych powłok malarskich: kruczoczarna, miedziana, mosiężna i chromowana.
Co to jest rozpylanie MF?
W porównaniu z napylaniem DC i RF, rozpylanie o średniej częstotliwości stało się główną techniką napylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłok, szczególnie do osadzania warstw dielektrycznych i nieprzewodzących powłok foliowych na powierzchniach, takich jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wiele warstw , folia z materiału kompozytowego itp.
Zastępuje rozpylanie RF, ponieważ działa z częstotliwością kHz zamiast MHz, zapewniając znacznie szybszą szybkość osadzania, a także może uniknąć zatrucia celu podczas osadzania cienkich warstw związku, takiego jak DC.
Cele rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami.Stosowane są dwie katody z prądem zmiennym przełączanym między nimi, który czyści powierzchnię docelową przy każdym odwróceniu, aby zmniejszyć ładunek gromadzący się na dielektrykach, który prowadzi do wyładowania łukowego, który może wyrzucać kropelki do plazmy i zapobiegać równomiernemu wzrostowi cienkiej warstwy - co jest co nazwaliśmy zatruciem docelowym.
Specyfikacje techniczne
| Nie. | Imię |
| 1 | System pompowania próżniowego: pompa turbo molekularna + pompa korzeniowa + pompa mechaniczna + pompa podtrzymująca |
| 2 | Próżniowy system pomiarowy: Pirani + Penning Gauges |
| 3 | System ogrzewania: podgrzewacze do podgrzewania podłoży w celu poprawy przyczepności |
| 4 | System dystrybucji wody / sprężonego powietrza: konstrukcja modułowa i fabrykacja |
| 5 | Katody rozpylania cylindrycznego: 2/4/6/8 par bliźniaków dla opcji |
| 6 | Zasuwa próżniowa (jako opcja) |
| 7 | Obudowa elektryczna (norma CE) |
| 8 | Komora próżniowa (SS304 / 316L na żądanie) |
| 9 | Źródło łuku katodowego (konwencjonalne katody łukowe) |
| 10 | View Port (2 rozmieszczone na drzwiach do inspekcji wnętrza komory osadzania) |
| 11 | System dystrybucji gazu procesowego (kontroler przepływu licznika dla 4 kanałów) |
| 12 | Rack Driving System (planetarny model jazdy) |
| 13 | Karuzela |
| Opis | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Komora do osadzania (mm) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Planetarna jazda Efektywny obszar powłoki (mm) |
8: φ270 * H850 10: φ230 * H850 |
10: φ300 * H850 16: φ200 * H850 |
| Circular Arc Cathode (zestawy) | 7 | 12 |
| Katody do rozpylania cylindrycznego (pary) | 3/4 | 4/6 |
|
Pulsacyjna moc odchylenia (KW) |
36 | 48 |
| Moc rozpylania DC / MF (KW) | 36 | 4 * 36 |
| Moc łuku (KW) | 7 * 5 | 12 * 5 |
| Pompy próżniowe |
2 * pompy turbolekularne 1 * SV300B 1 * WAU1001 1 * TRP60 |
3 * pompy turbolekularne 2 * SV300B 1 * WAU2001 1 * TRP90 |
| Maks.Pobór mocy (KW) | 200 | 245 |
| Średni pobór mocy (KW) | <75 | <100 |
| Przestrzeń operacyjna (L * W * H) mm | 4300 * 3700 * 2800 | 5000 * 4000 * 2800 |
Elastyczne konfiguracje: maszyna jest ustawiana zgodnie z procesami powlekania i wymaganiami klientów
w miejscu
