AlN Chips System napylania miedzianego, maszyna do bezpośredniego powlekania miedzią azotkiem glinu

AlN Chips System Depozycji Miedzianego Rozpylania, Aluminiowy Azotyn PVD Miedzianego Rozpylania

Wydajność

1. Ostateczne ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10^-6Torr.

2Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10^-4Torr.

3. Czas odpompowania: od 1 atm do 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, komora sucha, czysta i pusta)

4Materiał metalizujący (spruttering + odparowanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itp.

5Model działania: pełna automatyczna / półautomatyczna / ręczna

Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy komplet systemu wymieniony poniżej:

1Komora próżniowa

2. System pompowania próżniowego (zestaw pomp oporowych)

3. System pompowania pod wysoką próżnią (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)

4. Elektryczny system sterowania i obsługi

5System urządzeń pomocniczych (podsystem)

6System depozytowania

Główne cechy maszyny do powlekania miedzią

1Wyposażony w 8 katod łukowych i katod rozpylających DC, katody rozpylające MF, jednostkę źródła jonowego.

2. Dostępne powłoki wielowarstwowe i ko-depozycyjne

3Źródło jonowe do oczyszczania plazmy przed obróbką i osadzenie z pomocą wiązki jonowej w celu zwiększenia przyczepności folii.

4. jednostka podgrzewająca substraty ceramiczne/Al2O3/AlN;

5System obrotu i rewolucji podłoża, do powlekania z jednej i dwóch stron.

Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant on Ceramic Radiating Substrate

Proces DPC- Direct Plating Copper jest zaawansowaną technologią powłoki stosowaną w przemyśle LED / półprzewodników / elektroniki.

Depozycja folii przewodzącej koprem na podłogach Al2O3, AlN za pomocą technologii plamkowania próżniowego PVD w porównaniu z tradycyjnymi metodami produkcji: DBC LTCC HTCC,znacznie niższe koszty produkcji jest jego wysoką cechą.

Zespół technologiczny Royal asistował naszemu klientowi w pomyślnym opracowaniu procesu DPC z technologią rozpylania PVD.

Maszyna RTAC1215-SP zaprojektowana wyłącznie do powlekania żaluzją przewodzącą miedzianą ceramicznych chipów, ceramicznych płyt obwodowych.

Proszę skontaktować się z nami, aby uzyskać więcej informacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu całkowite rozwiązania powłoki.