|
| Nazwa marki: | ROYAL |
| Numer modelu: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 zestaw |
| Cena £: | negocjowalne |
| Warunki płatności: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Zdolność do zaopatrzenia: | 6 zestawów miesięcznie |
Model maszyny: RT1200-FCEV
Technologia: z PECVD + PVD Magnetron Sputtering Depositing: Si, Cr, grafit cele, do generowania niezrównoważonego zamkniętego pola magnetycznego o wysokiej gęstości,wysoka jednolitość i doskonała odporność na korozję folia na bazie węgla.
To...RTprzestrzeganie prawaWysokiej próżni układ osadzenia magnetronowego jest modelem na miarę, który odnosi się do modelu Multi950-R & D, który zbudowaliśmy dla Uniwersytetu w Szanghaju.
Jest on zaprojektowany z komorą oktalną, elastyczne i niezawodne osiągi są szeroko stosowane w różnych zastosowaniach.Grafit, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS i wielu innych metali nieferromagnetycznych; plus jednostka źródła jonów,
skutecznie zwiększa przyczepność folii do różnych materiałów podłoża dzięki jej wydajności etsu plazmowego i procesowi PECVD do osadzania niektórych warstw na bazie węgla.
Struktura sprzętu:
Orientacja pionowa, struktura ośmiokątna, 2 drzwi otwierające się (z przodu i z tyłu) dla łatwego dostępu.
Charakterystyka urządzenia:
System przyjazny dla środowiska, brak odpadów niebezpiecznych
Wysoka integracja, konstrukcja modułowa
Komercjalizowane i standaryzowane do masowej produkcji przemysłowej
Niezwykle wydajne źródło jonów dla silnego przyczepienia i wysokiej jonizacji
Łatwa obsługa: ekran dotykowy + sterowanie PLC, jedna operacja dotykowa
Za pomocą oprogramowania Royal Technology można programować, zapisywać i odtwarzać parametry procesu
Specjalna konstrukcja systemu Carousel dla bardzo jednolitego osadzania
Wysoka wydajność i stabilność, praca 24 godziny na dobę, 7 dni w tygodniu
Płyty elastyczne, dopasowane do różnych rozmiarów, do powlekania pojedynczych lub podwójnych stron
Wydajność folii powłokowej PVD i PECVD:
Aby poprawić przewodność powierzchni
Wysoka odporność na korozję
Wysoka odporność na zużycie
Wysoka twardość
Płytki kompozycyjne hydrofobowe i inne płyty funkcjonalne
Dostępne do powłok złożonych: folii metalowych i niemetalowych
Zakres grubości folii od 100 nm do 12 μm, tolerancja grubości ± 5% Silna adhezja
Obróbka powierzchniowa części o niskiej temperaturze
| Modelowy | RTprzestrzeganie prawa | |||||||||
| Materiał | Stal nierdzewna (S304) | |||||||||
| Wielkość komory | Φ1250*1350mm (H) | |||||||||
| Typ komory | Przednia i tylna konstrukcja dwustronna, pionowa | |||||||||
| Jednostkowe opakowanie pompy | Pompy próżniowe z tłokami obrotowymi | |||||||||
| Pompy próżniowe do korzeni | ||||||||||
| Magnetyczna pompa cząsteczkowa zawieszenia | ||||||||||
| Pompy obrotowe (pompy podtrzymujące) | ||||||||||
| Technologia | PECVD z źródłem jonowym | |||||||||
| Zapewnienie energii elektrycznej | Zasilanie na rozpylanie + zasilanie na Bias + Źródło jonowe | |||||||||
| ŹRÓDZIE depozytu | 2 pary katod rozpylających DC/RF + (2 pary zapasowe przy użyciu) + Źródło jonowe | |||||||||
| Kontrola | PLC + ekran dotykowy | |||||||||
| GAS | Mierniki przepływu masy gazu (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, azot i etyn, tlen | |||||||||
| System bezpieczeństwa | Liczne zabezpieczenia zabezpieczające do ochrony operatorów i sprzętu | |||||||||
| Chłodzenie | Woda chłodząca | |||||||||
| Oczyszczanie | Rozładowanie świetlne/źródło jonowe | |||||||||
| Power Max. | 150 kW | |||||||||
| Średnie zużycie energii | 75 kW | |||||||||
Proszę skontaktować się z nami, aby uzyskać więcej informacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu całkowite rozwiązania powłoki.
