PECVD Cienkowarstwowa maszyna do powlekania, system osadzania PVD wzmocniony plazmą jonową
Dlaczego my?
Zaawansowane maszyny produkcyjne (frezowanie, spawanie, cięcie, próżniowe testy szczelności) w połączeniu ze znormalizowanymi procedurami produkcyjnymi i rygorystycznymi testami umożliwiają Royal Technology wytwarzanie wysokiej jakości, niezawodnych i tanich systemów powłok.
Jakość, serwis i terminowość dostaw to podstawowe zasady działalności Royal Technology.Strategia otwartego outsourcingu prostych komponentów do profesjonalnych producentów pozwala nam skupić się na badaniach i rozwoju kluczowych części i komponentów oraz produkcji.
Ścisłe zasady kontroli jakości i rygorystyczny wybór wykwalifikowanych dostawców zapewniają klientom Royal Technology dostęp do najbardziej zaawansowanego sprzętu najwyższej jakości po najbardziej przystępnej cenie.
Podstawową technologią jest wytwarzanie energii elektrycznej za pomocą modułu mocy ogniwa paliwowego poprzez reakcję elektrochemiczną między wodorem jako paliwem a tlenem.
Wodorowe ogniwo paliwowe jako najważniejsza i najważniejsza część modułu mocy, naukowcy, inżynierowie, profesorowie z organizacji transportowych i producenci pojazdów na całym świecie przeprowadzili tysiące testów i ostatecznie znaleźli odpowiednią obróbkę.
Jest to w 100% przyjazna dla środowiska technologia i vechiles.
Nasz model RTSP1200 jest specjalnie zaprojektowany i opracowany do tego zastosowania.Współpracowaliśmy z Shanghai Jiaotong Unversity i SAIC Motor Corporation Limited Company.
System rozpylania wodorowego modułu zasilania ogniw paliwowych z technologią PECVD (Osadzanie z fazy gazowej wzmocnionej plazmą) do osadzania cienkich warstw SiC o wysokiej jednorodności i silnej adhezji.
Maszyna do napylania wodorowego ogniw paliwowych zawiera źródło jonów, zrównoważone / niezbalansowane katody rozpylające;ze stabilnym systemem pomp próżniowych o dużej objętości.
Specyfikacje systemu rozpylania modułu wodorowego ogniwa paliwowego
| MODEL | RTSP1200 | |||||||||
| MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | |||||||||
| ROZMIAR KOMORY | Φ1200 * 1300 mm (H) | |||||||||
| TYP KOMORY | Konstrukcja z przodu iz tyłu 2-drzwiowa, pionowa | |||||||||
| PAKIET Z POJEDYNCZĄ POMPĄ | Pompa próżniowa z tłokiem obrotowym | |||||||||
| Pompa próżniowa Roots | ||||||||||
| Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym | ||||||||||
| Obrotowa pompa łopatkowa (pompa utrzymująca) | ||||||||||
| TECHNOLOGIA | Rozpylanie magnetronowe, źródło jonów PECVD | |||||||||
| ZASILACZ | Zasilacz rozpylający + zasilacz odchylenia + źródło jonów | |||||||||
| ŹRÓDŁO DEPOZYCJI | 2 pary katod napylających DC / RF + (2 pary zapasowe używane) + źródło jonów | |||||||||
| KONTROLA | PLC + ekran dotykowy | |||||||||
| GAZ | Przepływomierze masowe gazu (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, azot i etyn, tlen | |||||||||
| SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt | |||||||||
| CHŁODZENIE | Woda chłodząca | |||||||||
| CZYSZCZENIE | Wyładowanie jarzeniowe / źródło jonów | |||||||||
| MOC MAKS. | 150KW | |||||||||
| ŚREDNIE ZUŻYCIE MOCY | 75KW |
|||||||||
Specjalnie zaprojektowany system regałów i uchwytów może całkowicie się wysunąć, aby zapewnić wygodny załadunek / rozładunek substratu.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology jest zaszczycona mogąc dostarczyć Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.
