|
| Nazwa marki: | ROYAL |
| Numer modelu: | RTSP |
| MOQ: | 1 zestaw |
| Zdolność do zaopatrzenia: | 10 ZESTAWÓW MIESIĘCZNIE |
Maszyna do powlekania tantaliem PVD, folie tantaliowe osadzone przez magnesowe rozpylanie stałego prądu, PVD Tantal Plating
Tantal jest najczęściej stosowany w przemyśle elektronicznym i jako powłoka ochronna w wielu gałęziach przemysłu ze względu na dobrą odporność na erozję.
Filmy z tantalu rozpylanego są szeroko stosowane w
1Przemysł mikroelektroniczny, ponieważ folie mogą być reakcyjnie rozpylane, a tym samym odporność i współczynnik temperatury oporu mogą być kontrolowane;
2Instrumenty medyczne takie jak implanty ciała ze względu na wysoką właściwość biokompatybilności;
3. powłoki na częściach odpornych na korozję, takich jak termowierzby, korpusy zaworów i elementy mocujące;
Tantal rozpylanego można również stosować jako skuteczną barierę odporną na korozję, jeśli powłoka jest ciągła, uszkodzona i przylegająca do podłoża..
RTAS1000 Korzyści techniczne
1. Plug-in Zintegrowany system projektowania do szybkiej instalacji
2. Siemens PLC,CPU; z oprogramowaniem do obsługi i sterowania PC przemysłowych
3Dostępny do zdalnego monitorowania i diagnozowania.
4Elastyczny, gotowy do modernizacji
5Wielokrotne katody dla szybkiej prędkości osadzenia
Kolejne korzyści z maszyny:
Robustna konstrukcja, stabilna jakość, szybki cykl, szybki czas cyklu, wysoka prędkość osadzenia
| Główne konfiguracje | |
| Modelowy | RTAS1000 |
| Technologia | Przesyp magnetronowy prądu stałego + pokrycie łukiem katodowym |
| Materiał do komory | Stal nierdzewna (S304) |
| Wielkość komory | Φ1000*1000 mm (H) |
| Typ komory | Kształt D, komora cylindryczna |
| System obrotowy stojaku i żigów | System sterowania satelitarnego lub centralnego |
| Wyroby elektryczne | Zasilanie prądem stałym: 2~4 zestawy Zasilanie Bias: 1 zestaw Zasilanie łukowe: 11 zestawów |
| Materiał depozytowy | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu itp. |
| ŹRÓDZIE depozytu |
Katody płaskiej rozpylania + katody łukowe okrągłe Uwaga: cylindryczny rozpylacz prądu stałego jest dostępny |
| Kontrola | PLC ((programowalny sterownik logiczny) + ekran dotykowy (modele obsługi ręcznej + automatycznej + półautomatycznej) |
| System pompowy | Pompy węglowe obrotowe: SV300B - 1 zestaw (Leybold) |
| Pompy korzeniowe: WAU1001 - 1 zestaw (Leybold) | |
| Pompy utrzymujące: D60C - 1 zestaw (Leybold) | |
| Magnetyczna pompa cząsteczkowa zawieszenia: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Wymagania dotyczące kontroli przepływu | 4 kanały, Made in China, Seven Star (seria CS, ) model cyfrowy (Ar, N2, O2, C2H2) |
| Wskaźnik próżniowy | Model: ZDF-X-LE, wykonany w Chinach |
| System bezpieczeństwa | Liczne zabezpieczenia zabezpieczające do ochrony operatorów i pracowników urządzeń |
| Ogrzewanie | Ogrzewacze: 20 kW. Maksymalna temperatura: 450°C |
| Chłodzenie | Chiller przemysłowy (woda zimna) |
| Power Max. | 100 kW (ok.) |
| Średnie zużycie energii | 45 KW (ok.) |
| Tłuszcz | T (ok.) |
| Odcisk stóp | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
| Elektryczność | AC 380V/3 fazy/50HZ / 5 linii |
Katody do rozpylania cylindryczne Katody rozpylania płaskiego
Proszę skontaktować się z nami, aby uzyskać więcej informacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu całkowite rozwiązania powłoki.
Pobierz broszurę:Magnetron Sputtering Deposition System.pdf
Magnetron Sputtering Deposition System aplikacja...
