|
| Nazwa marki: | ROYAL |
| Numer modelu: | Multi950 |
| MOQ: | 1 zestaw |
| Cena £: | depends on |
| Warunki płatności: | L/C, T/T |
| Zdolność do zaopatrzenia: | 10 ZESTAWÓW MIESIĘCZNIE |
TIntegracja technologii PVD i PECVD w hybrydowej maszynie do powlekania zapewnia szereg zalet, które mogą prowadzić do poprawy jakości powlekania, wszechstronności, kontroli, wydajności, oszczędności kosztów,dostosowanie, i zrównoważonego rozwoju środowiska.
Multi950 to kamień milowy w zaawansowanych systemach powlekania dla Royal Tech.Jego kreatywne i bezinteresowne poświęcenie są nieograniczonymi wartościami i zainspirowały nasz zespół.
W 2018 roku mieliśmy kolejną współpracę z Pressor Chen, osadzenie materiału C-60 przez
Serdecznie dziękujemy panu Yimou Yang'owi i profesorowi Chen'owi za kierowanie i instrukcje w każdym innowacyjnym projekcie.
Właściwości maszyny Multi950:
Kompaktny odcisk,
Standardowa konstrukcja modułowa,
elastyczny,
Niezawodne,
Oktałowa komora,
konstrukcja dwudrzwiowa zapewniająca łatwy dostęp,
Procesy PVD + PECVD.
Cechy projektowe:
1Elastyczność: katody łukowe i katody rozpylające, płaszcze montażowe źródła jonowego są standaryzowane dla elastycznej wymiany;
2- wszechstronność: może składać różne metale nieszlachetne i stopy; powłoki optyczne, twarde, miękkie,folie złożone i twarde folie smarowe na podłogach z materiałów metalicznych i niemetalicznych.
3- konstrukcja prosto do przodu: konstrukcja dwu drzwiowa, przednie i tylne otwieranie dla łatwej konserwacji.
Maszyna Multi950 to niestandardowy, wielofunkcyjny system osadzenia próżniowego do badań i rozwoju.Wreszcie potwierdziliśmy projekt i konfigurację, aby spełnić ich aplikacje badawczo-rozwojowe.System ten umożliwia składowanie przezroczystej folii DLC z procesem PECVD, twardych powłok na narzędziach i folii optycznej z katodą rozpylającą.Od tego czasu opracowaliśmy 3 inne systemy powlekania.:
1. Bipolarna powłoka płytek dla pojazdów elektrycznych z ogniwami paliwowymi- FCEV1213,
2. Ceramiczna miedź bezpośrednio pokryta- DPC1215,
3Elastyczny system rozpylania - RTSP1215.
Wszystkie te 4 modele maszyn są wyposażone w komorę oktałową, elastyczne i niezawodne osiągi są szeroko stosowane w różnych zastosowaniach.Aby spełnić procesy powlekania, wymagane są wiele różnych warstw metalu.: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS i wiele innych metali nieferomagnetycznych;
wraz z jednostką źródła jonowego, skutecznie zwiększa przyczepność filmów do różnych materiałów podłoża dzięki jego wydajności etsu plazmowego i procesie PECVD do osadzania niektórych warstw na bazie węgla.
Multi950 - Specyfikacje techniczne
| Opis | Wielopłaszczyzna |
|
Komora osadzania (mm) Szerokość x Głębokość x Wysokość |
1050 x 950 x 1350 |
|
Źródła depozytów |
1 para katod rozpylających MF |
| 1 para PECVD | |
| 8 zestawów katod łukowych | |
| Liniowe źródło jonów | 1 zestaw |
| Strefa jednolitości plazmy (mm) | φ650 x H750 |
| Karusel | 6 x φ300 |
|
Moc (KW) |
Zbiór: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Łuk: 8 x 5 | |
| Źródło jonowe: 1 x 5 | |
| System sterowania gazem | MFC: 4 + 1 |
| System ogrzewania | 500°C, z sterowaniem PID pary cieplnej |
| Zawór bramy wysokiej próżni | 2 |
| Pompy turbomolekularne | 2 x 2000L/S |
| Pompa korzeniowa | 1 x 300L/S |
| Pompy obrotowe | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| Odcisk (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Całkowita moc (KW) | 150 |
Zespoły serwisowe i inżynieryjne Royal Tech zapewniają obsługę klienta na miejscu, skontaktuj się z nami w sprawie swoich aplikacji!
