Tantal (Ta) Thin Film Magnetron Sputtering Deposition System-RTSP1000

Depozycja tantalu, złoto metali szlachetnych przez rozpylanie 

Rozpylanie jest powszechnie stosowane do odkładania ogniotrwałych metali, takich jak tantal, tytan, wolfram,Niobium, które wymagałoby bardzo wysokich temperatur osadzenia, i metali szlachetnych: złota i srebra, które są również wykorzystywane do osadzania metali o niższych punktach topnienia, takich jak miedź, aluminium, nikl, chrom itp.

Tantal jest najczęściej stosowany w elektronikach. przemysłjako powłoka ochronna ze względu na dobrą odporność na erozję.

Filmy z tantalu rozpylanego są szeroko stosowane w
1Przemysł mikroelektroniczny, ponieważ folie mogą być reakcyjnie rozpylane, a tym samym odporność i współczynnik temperatury oporu mogą być kontrolowane;

2Instrumenty medyczne takie jak implanty ciała ze względu na wysoką właściwość biokompatybilności;

3. powłoki na częściach odpornych na korozję, takich jak termowierzby, worki zawodowe i elementy mocujące;

4.Tantal rozpylanego można również stosować jako skuteczną barierę odporną na korozję, jeśli powłoka jest ciągła, uszkodzona i przylegająca do podłoża, jest przeznaczona do ochrony.

Królewska technologia/Standaryzowany system osadzenia tantalu przez rozpylanie: model RTSP1000.
 Właściwości folii rozpylanego tantalu:
Niska odporność

Powierzchnie powłok o wysokiej odporności na korozję i zużycie, które są poddawane wysokim obciążeniom i surowemu środowisku chemicznemu i erozji. 

Cechy konstrukcyjne:

Robustna konstrukcja, stabilna jakość, szybki cykl, system wysokiej precyzji

Struktura sprzętu:

Struktura systemu powłoki: orientacja pionowa, struktura ośmiokątna, 2 drzwi dla łatwego dostępu.

System przyjazny dla środowiska, bez niebezpiecznych odpadów.

Całkowita integracja, projektowanie modułowe
Komercjalizowane i standaryzowane do masowej produkcji przemysłowej
Niezwykle wydajne źródło jonów dla silnej adhezji i wysokiej jonizacji.
Łatwa obsługa: ekran dotykowy + sterowanie PLC, jedna operacja dotykowa
Specjalny projekt systemu Carousel dla wysokiej jednolitej osadności.
Wysoka wydajność i stabilność, pracują 24 godziny na dobę.
Płyty elastyczne, dopasowane do różnych rozmiarów

Kluczowe elementy

Źródło jonowe dla procesu asystującego depozytowania:

Źródło jonowe do procesu itechingu plazmowego:

Maszyna RT1200-FCEV jest systemem rozpylania typu serii, który może składać różne powłoki twarde, miękkie,folie złożone i twarde folie smarowe na podłogach z materiałów metalicznych i niemetalicznychZastosowane w przemyśle pojazdów z ogniwami paliwowymi wodorowymi, produktów fotonicznych, lotnictwie i innych nowych gałęziach energetycznych.

Wykonania folii osadujących:

Aby poprawić przewodność powierzchni;

Wysoka odporność na korozję;

Wysoka odporność na zużycie;

Wysoka twardość

Płytki kompozycyjne hydrofobowe i inne płyty funkcjonalne

Dostępne do powłok złożonych: folii metalowych i niemetalowych.

Zakres grubości folii od 100 nm do 12 μm, tolerancja grubości ±5%

Silne przyczepienie.

Obsługa twardnienia powierzchni części o niskiej temperaturze.

Rodzaj:

Orientacja pionowa, struktura ośmiorowa, 2 drzwi (przednie i tylne)

Zalety projektowe:

• System przyjazny dla środowiska, brak ścieków przemysłowych, zanieczyszczenia powietrza i hałasu;
• Łatwa obsługa: ekran dotykowy + sterowanie PLC i unikalny program oprogramowania do jednej operacji dotykowej, ponad 80% alarmu ostrzegawczego.
• Do 10 przepisów przetwarzania logowania i kopii zapasowych; wysoka powtarzalność i różnorodność.
• Specjalny projekt systemu Carousel dla wysokiej jednolitości osadzenia folii.
• Wysoka wydajność i wysoka jakość
• Stabilny i niezawodny system, działający 365 dni * 24 godziny (czas przerwy konserwacji i naprawy)
• Efektywny system pompowania: krótsze przewody rur próżniowych dla maksymalnej prędkości rur z znanymi europejskimi markami pomp
• Kompaktna konstrukcja zajmuje minimalną powierzchnię instalacyjną.

Zespół Royal Tech jest zaszczycony, że możemy służyć Państwu najlepszą obsługą i wiedzy.