DPC Bezpośrednie miedziowanie na płytkach ceramicznych Al2O3 / AlN Maszyna do osadzania miedzi

Jasność Oświetlenie DPC Ceramiczny pierścień jubilerski Powlekanie próżniowe, płytki drukowane Al2O3 / AlN Miedziowanie PVD

Występ

1. Najwyższe ciśnienie próżniowe: lepsze niż 5,0 × 10^-6 Torr.

2. Ciśnienie robocze podciśnienia: 1,0 × 10^-4 Torr.

3. Czas odpompowania: od 1 atm do 1,0×10^-4 Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Materiał metalizujący (napylanie + odparowanie łukowe): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itp.

5. Model operacyjny: w pełni automatycznie/półautomatycznie/ręcznie

Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa

2. System pompowania próżniowego zgrubnego (pakiet pompy pomocniczej)

3. System pompowania wysokiego podciśnienia (pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym)

4. Elektryczny system sterowania i obsługi

5. System obiektów pomocniczych (podsystem)

6. System osadzania

Maszyna do napylania miedzią Kluczowe cechy

1. Wyposażony w 8 katod łukowych skrętnych i katody rozpylające DC, katody rozpylające MF, jednostkę źródła jonów.

2. Dostępna powłoka wielowarstwowa i współosadzana

3. Źródło jonów do wstępnej obróbki plazmowej i osadzania wspomaganego wiązką jonów w celu zwiększenia przyczepności folii.

4. Urządzenie do podgrzewania podłoży ceramicznych/Al2O3/AlN;

5. System rotacji i obrotu podłoża, do powlekania jednostronnego i dwustronnego.

Cooper Magnetronowa powłoka natryskowa na ceramicznym podłożu promieniującym

Proces DPC - Direct Plating Copper to zaawansowana technologia powlekania stosowana w przemyśle LED / półprzewodnikowym / elektronicznym.Jednym z typowych zastosowań jest ceramiczne podłoże promieniujące.

Osadzanie miedzianych warstw przewodzących na podłożach Al2O3, AlN technologią napylania próżniowego PVD, w porównaniu z tradycyjnymi metodami wytwarzania: DBC LTCC HTCC, jego wysoką cechą jest znacznie niższy koszt produkcji.

Królewski zespół technologiczny wspierał naszego klienta w pomyślnym opracowaniu procesu DPC z technologią napylania PVD.

Maszyna RTAC1215-SP przeznaczona wyłącznie do powlekania miedzianą folią przewodzącą na chipach ceramicznych, płytce ceramicznej.

Jak działa powłoka PVD?

Stały metal jest odparowywany lub jonizowany w środowisku wysokiej próżni i osadzany na materiałach przewodzących prąd elektryczny w postaci czystego metalu lub stopu metali.Gdy reaktywny gaz, taki jak azot, tlen lub gaz na bazie węglowodorów jest wprowadzany do pary metalu, tworzy powłoki azotkowe, tlenkowe lub węglikowe, ponieważ strumień pary metalicznej reaguje chemicznie z gazami.Powlekanie PVD musi odbywać się w specjalnej komorze reakcyjnej, aby odparowany materiał nie reagował z żadnymi zanieczyszczeniami, które w innym przypadku byłyby obecne w pomieszczeniu.

Podczas procesu powlekania PVD parametry procesu są ściśle monitorowane i kontrolowane tak, aby uzyskana twardość filmu, przyczepność, odporność chemiczna, struktura filmu i inne właściwości były powtarzalne dla każdego przebiegu.Różne powłoki PVD są stosowane w celu zwiększenia odporności na zużycie, zmniejszenia tarcia, poprawy wyglądu i osiągnięcia innych ulepszeń wydajności.

W celu osadzania materiałów o wysokiej czystości, takich jak tytan, chrom lub cyrkon, srebro, złoto, aluminium, miedź, stal nierdzewna, fizyczny proces powlekania PVD wykorzystuje jedną z kilku różnych metod powlekania PVD, w tym:

Odparowywanie łuku

Parowanie termiczne

Rozpylanie DC/MF (bombardowanie jonami)

Osadzanie wiązką jonów

Powlekanie jonowe

Ulepszone rozpylanie

Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zapewnić kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.