Seria RTAS jest zintegrowaną maszyną z wieloma źródłami osadzania do ogólnych kolorów grafitu, kruczoczarnego, niebieskiego, miedzianego i brązowego na częściach metalowych, przedmiotach ze stali nierdzewnej.Stosowany szczególnie do luksusowych części wysokiej klasy.
Standard Podanie
Biżuteria, paski do zegarków i korpusy, sporty ze stali nierdzewnej, przybory do pisania
Elektronika użytkowa: telefon komórkowy, laptop, aparat fotograficzny, drony
Maszyny RTAS wyposażone w łukowe i cylindryczne źródła napylania.Wiele kombinacji napylania DC, napylania MF, odparowywania łuku i źródła jonów itp. Wszystkie są dostępne w jednej maszynie, co zapewnia dużą elastyczność konfiguracji w celu zaspokojenia różnych zastosowań.Specjalnie dla drobnych elementów powłok estetycznych: kruczoczarna, miedziana, mosiężna i chromowana.
Co to jest rozpylanie MF?
W porównaniu z napylaniem DC i RF, napylanie o średniej częstotliwości stało się główną techniką napylania cienkowarstwowego do masowej produkcji powłok, szczególnie do osadzania warstw dielektrycznych i nieprzewodzących powłok na powierzchniach, takich jak powłoki optyczne, panele słoneczne, wiele warstw , folia z materiałów kompozytowych itp.
Zastępuje napylanie RF, ponieważ działa z częstotliwością kHz, a nie MHz, co zapewnia znacznie większą szybkość osadzania, a także może uniknąć zatrucia celu podczas osadzania złożonej cienkiej warstwy, takiej jak DC.
Cele rozpylania MF zawsze istniały z dwoma zestawami.Stosowane są dwie katody z prądem przemiennym przełączanym między nimi, który czyści powierzchnię docelową przy każdym odwróceniu, aby zmniejszyć gromadzenie się ładunku na dielektrykach, co prowadzi do wyładowania łukowego, które może wyrzucać krople do plazmy i zapobiegać jednolitemu wzrostowi cienkiej warstwy – co jest to, co nazwaliśmy zatruciem na cel.
Specyfikacje techniczne
| Nie. | Nazwa |
| 1 | System pompowania próżniowego: Turbo pompa molekularna + pompa korzeniowa + pompa mechaniczna + pompa utrzymująca; |
| 2 | System pomiaru próżni: Pirani + mierniki Penninga |
| 3 | System grzewczy: grzałki do podgrzewania podłoży w celu poprawy przyczepności |
| 4 | System dystrybucji wody/sprężonego powietrza: konstrukcja modułowa i sfabrykowana |
| 5 | Cylindryczne katody rozpylające: 2/4/6/8 par celów bliźniaków dla opcji |
| 6 | Zasuwa próżniowa (jako opcja) |
| 7 | Obudowa elektryczna (norma CE) |
| 8 | Komora próżniowa (SS304/316L na żądanie) |
| 9 | Źródło łuku katodowego (konwencjonalne katody łukowe) |
| 10 | View Port (2 rozmieszczone na drzwiach do kontroli wnętrza komory osadzania) |
| 11 | System dystrybucji gazu procesowego (kontroler przepływu licznika dla 4 kanałów) |
| 12 | Rack Driving System (planarny model jazdy) |
| 13 | Karuzela |
| Opis | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Komora osadzania (mm) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Planetarna jazda Efektywna powierzchnia powłoki (mm) |
8: φ270 * H850 10: φ230 * H850 |
10: φ300 * H850 16: φ200 * H850 |
| Katoda łuku kołowego (zestawy) | 7 | 12 |
| Katody do rozpylania cylindrycznego (pary) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
Impulsowa moc polaryzacji (KW) |
36 | 48 |
| Moc rozpylania DC / MF (KW) | 36 | 4*36 |
| Moc łuku (KW) | 7*5 | 12*5 |
| Pompy próżniowe |
2 * Turbo Pompy Molekularne 1 * SV300B 1 * WAU1001 1 * TRP60 |
3 * Turbo Pompy Molekularne 2 * SV300B 1 * WAU2001 1 * TRP90 |
| Maks.Pobór mocy (kW) | 200 | 245 |
| Średnie zużycie energii (KW) | <75 | <100 |
| Przestrzeń robocza (L*W*H) mm | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Elastyczne konfiguracje: maszyna jest ustawiana zgodnie z procesami powlekania i wymaganiami klientów
w miejscu
