Ceramiczne żetony LED Spruttering Coating Plant / PVD KOPRZ Depozycja na Al2O3, AlN płytek

Ceramiczne żetony LED do powlekania metodą napylania katodowego / Ag, osadzanie miedzi na Al2O3, AlN Circuit Boards

Wydajność

1. Najwyższe ciśnienie próżni: lepsze niż 5,0 × 10 ^{- 6} Torr.

2. Ciśnienie próżni roboczej: 1,0 × 10 ^{- 4} Torr.

3. Czas pompowania: od 1 atmosfery do 1,0 × 10 ^{- 4} Torr≤ 3 minuty (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Materiał metalizujący (rozpylanie + odparowanie łuku): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr itp.

5. Model operacyjny: Pełny automatycznie / Semi-Auto / Ręcznie

Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa

2. Rouling System pompowania próżniowego (pakiet pompy podpierającej)

3. Układ wysokiego podciśnienia (magnetycznie zawieszona pompa molekularna)

4. Sterowanie elektryczne i system operacyjny

5. System urządzeń wspomagających (system podrzędny)

6. System osadzania

Miedziana maszyna do powlekania rozpyłowego Kluczowe cechy

1. Wyposażone w 8 katod łukowych i katody rozpryskujące prąd stały, katody natryskiwania MF, źródło jonów.

2. Dostępne powłoki wielowarstwowe i współosadzające

3. Źródło jonów do wstępnej obróbki plazmowej i osadzania wspomaganego jonowo w celu zwiększenia przyczepności filmu.

4. Podgrzewacz substratów ceramicznych / Al2O3 / AlN;

5. Obrót substratu i system obrotu, do nakładania jednostronnego i dwustronnego.

Powłoka napylania firmy Cooper Magnetron na ceramicznym podłożu promieniującym

Proces DPC - Direct Plating Copper to zaawansowana technologia powlekania stosowana w branżach LED / półprzewodników / elektroniki. Typowym zastosowaniem jest ceramiczne podłoże promieniste.

Odkładanie przewodzącego filmu na podłożach Al2O3, AlN w technologii napylania próżniowego PVD, w porównaniu z tradycyjnymi metodami produkcji: DBC LTCC HTCC, to znacznie niższy koszt produkcji.

Królewski zespół technologiczny namówił naszego klienta, aby z powodzeniem opracował proces DPC z technologią napylania PVD.

Urządzenie RTAC1215-SP przeznaczone wyłącznie do przewodzącej powłoki z miedzi na ceramicznych układach scalonych, ceramicznej płytce drukowanej.

Prosimy o kontakt w celu uzyskania dalszych specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt dostarczyć Państwu kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.